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含有掺杂剂元素的石墨靶材的制备方法

686   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:02
一种含有掺杂剂元素的石墨靶材的制备方法，它涉及一种石墨靶材的制备方法。它解决了目前传统方法制备的石墨靶材产生大量宏观粒子、降低了作为阴极电弧源所制得的非晶金刚石薄膜的质量以及高压石墨靶产生的等离子体束强度弱、熔覆效率低、易裂开以及电阻率高的问题。制备：(一)称取石墨粉末和掺杂剂元素粉末进行球磨；(二)真空干燥混合粉末；(三)抽出塑料橡胶套与钢性圆筒内壁间的空气；(四)灌粉；(五)预压，然后再冷等静压；(六)卸压；(七)烧结；(八)冷却，即得到含有掺杂剂元素的石墨靶材。本发明制备出的含有掺杂剂元素的石墨靶材质量密度达2.06g/cm3，内部残留的气体少，电弧斑点直径仅为1～5μm，而且电阻率≤7.8×10－5Ω·cm，所制成的含有掺杂剂元素的石墨靶电弧放电电流稳定。
声明：
“含有掺杂剂元素的石墨靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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