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砷化镓太阳电池的制备方法

818   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 15:01:02
一种砷化镓太阳电池的制备方法，工艺步骤为(1)对外延片预烘后进行涂胶，然后进行腐蚀、去胶(2)图形光刻(3)蒸镀电池上电极和下电极(4)蒸镀电池下电极(5)对电池进行热处理(6)产品标记(7)腐蚀CAP层(8)蒸镀减反射膜。本发明具有的优点和积极效果是：本发明实施例中电池边缘有源区的截面均通过腐蚀得到，可以有效解决电池边缘由于划片的机械缺陷造成的边缘漏电问题，同时能够解决边缘非直线型砷化镓太阳电池的制备问题。
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