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快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法

1111   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:59:02
本发明提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法，将真空治具(2)与基座(1)密封连接，通过真空泵(3)对真空治具(2)抽真空，使用取物杆(22)将基座(1)的可取面外接件(13)及可取面(12)从其外圈平坦面(11)围成的封闭空间内抽出，然后对真空治具(2)破真空，分离真空治具(2)与基座(1)，固定安装新的消耗件(5)后，再密封连接真空治具(2)与基座(1)，对真空治具(2)抽真空，使用取物杆(22)将可取面外接件(13)及可取面(12)装入所述外圈平坦面(11)围成的封闭空间内，消耗件(5)被可取面(12)带入真空腔体，更换消耗件的过程无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件。
声明：
“快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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