本发明涉及一种碳化硅陶瓷的制备方法,特别是一种具有球形微孔的碳化硅密封环及其制备方法。该球形微孔的碳化硅密封环,亚微米级α型碳化硅70-80%、碳化硼0.1-5%、纳米碳黑10-20%、有机物粘结剂5-18%、具有规则球形的有机物造孔剂1-5%。该具有球形微孔的碳化硅密封环制备方法包括原料混合、喷雾干燥、模压成型、真空烧结。本发明的技术方案具有工艺过程简单、合理,可有效降低生产成本,产品的密度、HRA硬度和三点抗弯为高于现有固相烧结和反应烧结的碳化硅陶瓷性能,同时孔径大小可根据需要进行调整,且分布均匀,可有效提高密封环的润滑性、耐磨性和使用寿命。
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