本发明属于表面冶金范畴。它是利用稀薄气体中的辉光放电及溅射现象,在工件周围设置辅助源极;同时利用真空电弧放电现象,在容器壁上设置一个或多个阴极电弧靶,作为主金属源。在对工件施加负偏压作用下,工件升至高温,依靠欲渗金属离子的轰击与扩散,使工件表面获得具有特殊物理、化学、机械性能的纯金属层、合金层、合金镀层及化合物渗、镀层。达到提高渗金属速度及质量,优化工件表面性能的目的。
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