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高PTF溅镀靶和制造方法

832   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 14:51:13
本发明通过将至少两种不同类型的粉末混合在一起并用粉末冶金法固结粉末以形成坯料,从而形成用于沉积器械的靶。然后由坯料形成靶。靶包括具有第一PTF的第一材料相和具有高于第一PTF的第二PTF的第二材料相。第二PTF也高于具有和靶相同的化学组成的材料的PTF。
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“高PTF溅镀靶和制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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