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钼合金靶材及其制备方法和应用

655   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:33
本发明涉及稀有金属粉末冶金技术领域,具体涉及一种钼合金靶材及其制备方法和应用,以质量百分数计,所述靶材包括10~30%的Ni,5~25%的Ti和0.5~5%的Re,余量为Mo和不可避免的杂质,且Mo的质量百分比≥50%。本发明在钼合金中加特定量的铼后,可以细化晶粒尺寸,使晶粒更均匀,降低材料脆性,增加塑韧性,提高变形加工能力,使得到的坯料可以进行轧制工序从而得到不同形状或大尺寸的靶材,作为靶材制备膜层时膜层厚度更均匀,溅射速度更快。
声明:
“钼合金靶材及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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