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钼合金靶材及其制备方法和应用

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:33
本发明涉及稀有金属和粉末冶金技术领域，具体涉及一种钼合金靶材及其制备方法和应用，以质量百分数计，所述靶材包括10～30％的Ni，5～25％的Ti和0.5～5％的Re，余量为Mo和不可避免的杂质，且Mo的质量百分比≥50％。本发明在钼合金中加特定量的铼后，可以细化晶粒尺寸，使晶粒更均匀，降低材料脆性，增加塑韧性，提高变形加工能力，使得到的坯料可以进行轧制工序从而得到不同形状或大尺寸的靶材，作为靶材制备膜层时膜层厚度更均匀，溅射速度更快。
声明：
“钼合金靶材及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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