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用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置及生产方法

956   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:12
本发明公开了一种用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置及生产方法，属于羰化冶金生产领域，解决了加热温度的不均匀导致的镍层厚度的不均匀的问题。本发明包括串联在导热油管道上的气瓶加热室、导热油泵和导热油加热器，气瓶加热室内安装有至少一个待沉积气瓶。方法包括以下步骤：将气瓶安装在气瓶加热室内，气瓶内通入氮气进行压力测试；气瓶内通入CO气体进行压力测试和CO气体置换；开启导热油泵和导热油加热器，导热油循环不断对气瓶进行加热；向气瓶内通入羰基镍和CO的混合气体，在导热油的加热条件下，进行MOCVD沉积镍。本发明通过油浴对气瓶进行均匀加热，使气瓶中所形成的镀镍层均匀、致密、光滑。
声明：
“用于气瓶MOCVD沉积镍的油浴装置及生产方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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