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制备高纯氯硅烷的方法

803   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:49:02
本发明提供的制备高纯氯硅烷的方法，通过冶金级硅与氯化氢反应制备得到的氯硅烷，通过粗精馏将大部分硼磷杂质去除，再通过吸附将剩下的极少量的硼磷杂质去除，同时通过对吸附剂的种类搭配选用，降低吸附剂的更换频率，实现低成本的提纯氯硅烷，同时简化操作程序，从而适合工业化。该方法能高效除去氯硅烷中硼磷杂质，减少精馏程序，并延长吸附剂使用寿命长，降低成本，以适合工业化。
声明：
“制备高纯氯硅烷的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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