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射频—直流多层辉光离子渗镀设备及工艺

818   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:09
射频-直流多层辉光离子渗镀设备及工艺属于表面冶金的范畴,其设备特征是在炉底盘与工件极之间放置一绝缘物,对射频与直流,炉底盘和工件极将具有不同的电极功能。工件利用辉光放电空心阴极效应进行加热,在工艺上提供了一种在导体、非导体基材表面形成表面镀层、扩散层和扩散层与镀层复合层的方法。本发明将直流辉光引入工件,弥补了射频溅射设备只能形成镀层不能形成渗入扩散层的不足。提供了具有更强结合力的渗、镀、扩散及它们之间相互结合的复合层材料。
声明：
“射频—直流多层辉光离子渗镀设备及工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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