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多晶硅定向提纯炉

1366   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:25
本实用新型公开了一种多晶硅定向提纯炉，属于多晶硅的提纯领域，用以解决多晶硅熔炼过程中的高温挥发性杂质对多晶硅定向提纯炉、真空泵组造成损害的问题。本实用新型包括炉体和真空抽气装置，所述真空抽气装置包括真空管路、安装在真空管路上的比例阀和滑阀泵，真空管路上设置换热器和过滤器，换热器、过滤器、比例阀和滑阀泵按照炉体内气体排出方向依次设置。其解决了炉体内高温挥发性杂质高温、沉积从而对炉体的造成损害的问题，延长了整个设备的使用寿命。
声明：
“多晶硅定向提纯炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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