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湿法提纯多晶硅的方法

735   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:03
本发明涉及一种湿法提纯多晶硅的方法。首先将多晶硅破碎至44-147微米的微粒,在碱性条件下,加热搅拌反应,去除油污等杂质;再通过HCl,聚乙二醇的保护和络合作用,去除大部分的金属杂质;再通过双氧水或其它氧化剂,氧化硅料和硅中的杂质;再加入HCl,HF及聚乙二醇的保护和络合作用,去除包括B、P及大部分的金属杂质;然后在通过离心固液分离,真空干燥后得到成品。获得的技术指标B含量从3ppmw降至≤0.91ppmw,P含量从3ppmw降至≤0.82ppmw,TM含量从300ppmw降至≤50ppmw。
声明：
“湿法提纯多晶硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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