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采用硫化物去除工业硅中硼磷杂质的方法

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:03
一种采用硫化物去除工业硅中硼磷杂质的方法,涉及工业硅。将渣料预熔;将预熔后的渣料与工业硅混合后放入石墨坩埚,抽真空,当真空度小于500Pa时启动罗茨泵,使真空在5Pa以下,接着关闭真空阀,通过石墨通气棒向体系通入Ar气,使真空度维持在5000～10000Pa;启动中频感应电源加热,待熔化后将石墨通气棒降至硅液表面上方1～3cm预热后,通入Ar气,并将通气棒插入硅液,通气搅拌;测量熔液温度,通过调节中频频率使反应温度维持在1600～1800℃;造渣后将通气棒升离坩埚,将熔炼完成的熔液浇注入模具中,凝固,得硅锭,完成采用硫化物去除工业硅中硼磷杂质的工作。可操作性强,适合于产业化。
声明：
“采用硫化物去除工业硅中硼磷杂质的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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