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钼气相沉积成型一体化装置和方法

597   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:21
本发明公开了一种钼气相沉积成型一体化装置和方法，成型装置包括钼源气化升华区、反应还原区、强化沉积区和在线固结成型区；以气态三氧化钼为原料，以均匀气相还原为基础，以电场强化定向沉积为核心，实现产品定型和高效沉积和在线固结成型。本发明以物理升华法制备高纯MoO3含钼气源，突破传统钼气相沉积法以氟化钼和羰基钼在原料制备过程中的毒性与沉积过程的污染；以均匀气相还原实现钼粒子尺度的精确控制；提供电场的定向作用实现钼粒子高效定向沉积，显著提升沉积效率；本发明克服传统钼气相沉积原料毒性、过程气体污染、效率低、成本高的缺点，实现钼金属材料短流程、高效、连续和绿色化制造，对钼金属材料成型技术的发展具有颠覆性影响。
声明：
“钼气相沉积成型一体化装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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