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硅晶片加工清洗废液资源化回收方法

1039   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:34:17
本发明提供一种硅晶片加工清洗废液资源化回收方法，包括以下步骤：1）氟硅酸化：向硅晶片加工清洗废液中加入石英粉进行反应，然后进行压滤，得到第一滤液和第一滤渣；2）除氟：向步骤1）得到的第一滤液中加入硫酸钠/硫酸钾进行反应，然后进行压滤，得到第二滤液和第二滤渣，第二滤渣为氟硅酸钠/氟硅酸钾；3）蒸馏：步骤2）得到的第二滤液减压蒸馏得到硝酸和蒸馏母液，将蒸馏母液冷却压滤，得到第三滤液和第三滤渣，第三滤液为稀硫酸，第三滤渣为硫酸钠/硫酸钾。本发明将硅晶片加工清洗废液中硅、氟、硝充分利用，没有二次污染，其中硅与氟均用来生产氟硅酸钠/氟硅酸钾，硝酸再循环使用，降低废酸的处置成本，工艺简单，成本低。
声明：
“硅晶片加工清洗废液资源化回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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