本发明公开了一种还原炉,涉及
多晶硅生产技术领域,主要目的是提供一种能够替代现有的硅芯的还原炉,使得硅棒的生产周期减少,降低硅棒的能源消耗和生产成本。本发明的主要技术方案为:一种还原炉,包括:炉体;支撑部,所述支撑部包括底盘和电极,所述底盘连接于所述炉体,所述电极设置在所述炉体内,并且连接于所述底盘;发热体,所述发热体设置在所述炉体内,并且连接于所述电极,其中,所述发热体至少由以下重量百分比的组分组成:钨元素:20‑50%;钼元素:50‑80%。本发明主要用于生产多晶硅。
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我是此专利(论文)的发明人(作者)