权利要求
1.在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:所述方法适用于合金电沉积,包括如下步骤: (1)根据电极基底表面的薄膜成分分布,将电极基底表面划分为梯度磁场施加区域和非梯度磁场施加区域; (2)制备梯度磁场模板,所述梯度磁场模板上分布有铁磁性金属或合金,且铁磁性金属或合金构建成所需图形; (3)磁场电沉积,将梯度磁场模板置于主磁体中,梯度磁场模板上分布的铁磁性金属或合金磁化,产生垂直于电极基底且平行于电流方向的梯度磁场,梯度磁场在电沉积过程中持续或间歇发生。
2.根据权利要求1所述的在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:步骤(2)中梯度磁场模板还包括树脂基板,所述铁磁性金属或合金按所需图形嵌装在树脂基板内。
3.根据权利要求1所述的在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:步骤(3)中以电极基底作为阴极,并将梯度磁场模板贴装在电极基底上,然后整体放入电解槽内,控制梯度磁场模板与电解槽的内壁贴合,同时电极基底背离梯度磁场模板的一侧与阳极相对且相互平行,梯度磁场模板一侧的电解槽外壁上放置有铁钕硼永磁体,电解槽内装有电解液,电解液中含有至少一种具有顺磁性的元素,然后在阴极和阳极间施加恒电压,进行所述磁场电沉积过程。
说明书
在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法
技术领域
本发明属于电沉积技术领域,具体涉及在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法。
背景技术
为满足功能材料各异的性能需求,电沉积技术除了可以制备均匀的二维薄膜材料,还可以制备多种复杂结构。通过电位调控等手段可以在垂直于基底方向有效构筑各种沉积薄膜的结构与组成,但很难在基底电极的不同区域(横向)对沉积薄膜组成及结构进行精准调控(见图1),这种结构材料在各类电子器件中都有着重要的应用及前景,如横向巨磁阻、横向同/异质结、热电器件等。
发明内容
本发明的目的是解决现有电沉积领域无法实现电极表面不同区域不同成分比例薄膜的可控制备的技术空白,提供一种简单易行的在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法,能精准控制镀层在基底表面成分分布。
为了实现本发明
声明:
“电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)