本发明公开了一种
稀土抛光粉的制备方法,包括如下步骤:(1)将碳酸稀土与水混合,然后加入矿化剂,陈化,得碱式碳酸稀土浆液;(2)将氢氟酸溶液加入到碱式碳酸稀土浆液中,搅拌1-3h,脱水,得氟碳酸稀土;(3)将氟碳酸稀土进行焙烧,得氟氧化稀土;(4)将氟氧化稀土粉碎、分级,得稀土抛光粉。通过本发明的方法,可得到特定晶型的抛光粉,保证了抛光粉颗粒的尺寸大小和形貌的均匀度,不产生影响抛光精度及速率的游离态氟离子及氟化物,结晶度高;产品抛光粉的耐磨性好,抛光速率快,抛光精度容易控制;产品的均一性好,生产效率高,成本低、无污染,适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光加工。
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