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基于镓铝砷外延合金及其制备方法

656 编辑：中冶有色网来源：深圳市奥伦德元器件有限公司

2024-11-08 16:17:38

权利要求 1.一种基于镓铝砷外延合金，其特征在于，包括：镓铝砷外延层(100); 第一氧化层(200)，所述第一氧化层(200)设置在所述镓铝砷外延层(100)的上方，所述第一氧化层(200)包括多个经一次光刻形成的第一窗口(210)和第一凸块(220)，所述第一窗口(210)与所述第一凸块(220)间隔分布; 第一金属层(300)，所述第一金属层(300)设置在所述第一氧化层(200)的上方; 第二氧化层(400)，所述第二氧化层(400)设置在所述第一金属层(300)的上方，所述第二氧化层(400)包括多个经二次光刻形成的第二窗口(410)和第二凸块(420)，所述第二窗口(410)与所述第二凸块(420)间隔分布，所述第一窗口(210)与所述第二窗口(410)的垂直方向上错位排列; 第二金属层(500)，所述第二金属层(500)设置在所述第一氧化层(200)的上方。 2.根据权利要求1所述的基于镓铝砷外延合金，其特征在于，所述第一氧化层(200)的材料为二氧化硅，所述第一氧化层(200)的厚度为1000-2800埃米。 3.根据权利要求1所述的基于镓铝砷外延合金，其特征在于，所述第一金属层(300)包括金铍合金和金，金铍合金和金依次通过蒸镀的方式层叠在所述第一氧化层(200)的上方。 4.根据权利要求3所述的基于镓铝砷外延合金，其特征在于，所述第一金属层(300)中金铍合金的厚度为100-800埃米，所述第一金属层(300)中金厚度为3000-8000埃米。 5.根据权利要求1所述的基于镓铝砷外延合金，其特征在于，所述第二氧化层(400)的材料为二氧化硅，所述第二氧化层(400)的厚度为1500-3500埃米。 6.根据权利要求1所述的基于镓铝砷外延合金，其特征在于，所述第二金属层(500)包括钛和金，钛和金依次通过蒸镀的方式层叠在所述第二氧化层(400)的上方。 7.根据权利要求6所述的基于镓铝砷外延合金，其特征在于，所述第二金属层(500)中钛的厚度为100-500埃米，所述第二金属层(500)

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