权利要求书： 1.一种太阳能电池的测试方法，其特征在于：制备测试样品，所述测试样品包括硅衬底、位于硅衬底一侧表面的隧穿层、设置在所述隧穿层背离硅衬底一侧的掺杂多晶硅层、设置在所述掺杂多晶硅层上的若干金属电极，所述金属电极的长度设置为W，宽度为L，若干所述金属电极平行设置且相邻所述金属电极的间距设置为d；
根据测试样品的结构，确定相邻金属电极之间的电阻R的算式如下：其中，R1为所述硅衬底的体电阻，R2为所述隧穿层的隧穿电阻；R3为所述掺杂多晶硅层的薄层电阻，R4为金属电极的接触电阻；
测试获取N组不同相邻金属电极之间的电阻R，N≥3；
建立方程组，计算得到隧穿电阻R2、薄层电阻R3、接触电阻R4，所述隧穿层的隧穿电阻率ρ1为R2*L*W，所述掺杂多晶硅层的方阻R□为R3/d，所述金属电极的接触电阻率ρ2为R4*L*W。
2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于：将所述隧穿电阻率ρ1、方阻R□、接触电阻率ρ2代入电阻R的算式，计算得到不同间距d所对应的电阻R值，拟合绘制相邻金属电极的电阻R与间距d的关系曲线；
测试得到间距为d0的相邻金属电极的电阻R0，将电阻R0与所述关系曲线中间距d0所对应的电阻R值相比对，并根据比对结果对所述隧穿电阻率ρ1、方阻R□、接触电阻率ρ2进行修正。
3.根据权利要求2所述的测试方法，其特征在于：根据所述关系曲线的延长线在横向坐标轴上的截距得到迁移长度LT，当所述金属电极宽度L小于迁移长度LT时，所述隧穿层的隧穿电阻率ρ1为R2*L*W，所述金属电极的接触电阻率ρ2为R4*L*W；
当所述金属电极宽度L大于等于迁移长度LT时，所述隧穿电阻率ρ1为R2*LT*W，所述接触电阻率ρ2为R4*LT*W。
4.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于：所述“测试获取N组不同相邻金属电极之间的电阻R”步骤中，选取至少两组间距小于0.2cm的相邻金属电极进行测试，得到相应的电阻R值。
5.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于：所述测试样品中任意两个相邻所述金属电极的间距各不相同。
6.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于：所述测试样品中部分相邻所述金属电极的间距相同；
所述“测试获取N组不同相邻金属电极之间的电阻R”过程，包括测试获取至少两组间距相同的相邻金属电极的
声明：
“太阳能电池的测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
