权利要求书： 1.一种太阳能电池退火方法，其特征在于，包括：
步骤1，将表面沉积有氧化铝薄膜层的硅片置于PECD管式炉中，并在所述PECD管式炉以初始温度290℃～300℃为起始，以小于等于10℃/min的升温速率进行升温，直到所述PECD管式炉内的温度达到终点温度480℃～500℃，且在所述PECD管式炉升温的过程中向所述PECD管式炉内通入氢气和氮气的混合气体，对所述硅片进行氢钝化；
步骤2，使得所述PECD管式炉在所述终点温度恒温25min～30min；
步骤3，在所述硅片的表面镀SiNx薄膜层。
2.如权利要求1所述太阳能电池退火方法，其特征在于，在所述步骤1之前，还包括：采用三基甲铝和水为原料，在温度为260℃～280℃的条件下，在所述硅片的表面制备所述氧化铝薄膜层。
3.如权利要求2所述太阳能电池退火方法，其特征在于，所述氧化铝薄膜层的厚度为
8nm～15nm。
4.如权利要求3所述太阳能电池退火方法，其特征在于，所述步骤1还包括：向所述PECD管式炉炉内通入氢气体积比例为5％～95％的氢气和氮气的混合气体，将所述PECD管式炉的炉压控制在0.1～0.15Mpa。
5.如权利要求4所述太阳能电池退火方法，其特征在于，在所述步骤1之前，还包括：对所述PECD管式炉内以所述初始温度通入N2进行吹扫2min～5min。
6.如权利要求5所述太阳能电池退火方法，其特征在于，在所述步骤2到步骤3之间，还包括：对所述PECD管式炉内以所述终点温度通入N2进行吹扫2min～5min。
7.如权利要求6所述太阳能电池退火方法，其特征在于，所述PECD炉管的升温速度时间为35min～90min。
8.如权利要求7所述太阳能电池退火方法，其特征在于，所述PECD炉管的升温速率为定值。
9.一种太阳能电池制备方法，其特征在于，包括如权利要求1?8任意一项所述太阳能电池退火方法。
10.一种太阳能电池退火装置，其特征在于，包括PECD管式炉、加热器、氢气源、氮气源、硅烷源、氨气源、控制中心，所述PECD管式炉用于放置待处理的表面沉积有氧化铝薄膜的硅片，所述控制中心控制所述氢气源、所述氮气源向所述PECD管式炉输入氢气和氮气的混合气体，同时控制所述加热器对所述PECD管式炉内进行加热，从初始温度290
声明：
“太阳能电池退火方法以及装置和太阳能电池制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：浙江晶科能源有限公司
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2025年06月06日 ~ 08日 
