权利要求书： 1.一种罩式退火炉排气装置，包括罩式退火炉(1)，其特征在于：所述罩式退火炉(1)的顶端通过螺栓安装设置有安装板(2)，所述安装板(2)的顶端开设有贯穿口，所述贯穿口的内部固定连接有导气管(3)，所述导气管(3)的底端延伸至罩式退火炉(1)的内部，所述导气管(3)的内部固定连接有限制片(4)，所述限制片(4)的顶端开设有气口(5)，所述限制片(4)的顶端开设有多个螺纹安装孔(15)，且多个螺纹安装孔(15)以气口(5)的圆心为原点进行圆周排列，多个所述螺纹安装孔(15)的内部均设置有限位杆(6)，多个所述限位杆(6)的顶端设置有安装盘(7)，所述安装盘(7)的底端中心处固定连接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)的底端固定连接有陶瓷分隔片(9)，所述导气管(3)的外壁靠近顶部边缘处套设有过滤箱(11)，所述过滤箱(11)的前后两侧外表面均开设有过滤口，两个所述过滤口的内部均安装设置有过滤网(12)。
2.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述安装盘(7)的内部安装设置有弹簧(10)，所述弹簧(10)的顶端固定连接于安装盘(7)的底面。
3.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述陶瓷分隔片(9)的半径大于气口(5)的半径，且陶瓷分隔片(9)设置于气口(5)的上方。
4.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述安装盘(7)顶端开设有多个贯穿孔，多个所述贯穿孔均开设于对应的限位杆(6)上方。
5.根据权利要求4所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：多个所述贯穿孔均贯穿限位杆(6)的底面，多个所述贯穿孔的内部均插设有长螺栓，多个所述长螺栓均与对应的螺纹安装孔(15)螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述导气管(3)的外壁套设有冷却箱(13)，所述冷却箱(13)的一侧外表面贯穿设置有出气管(14)。
说明书： 一种罩式退火炉排气装置技术领域[0001] 本实用新型涉及计算机信号接收设备技术领域，更具体地说，涉及一种罩式退火炉排气装置。
背景技术[0002] 退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设
声明：
“罩式退火炉排气装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：武汉华越钢铁有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
