罩式退火炉排气装置

1208 编辑：中冶有色技术网来源：武汉华越钢铁有限公司

2024-03-01 15:52:31

权利要求书： 1.一种罩式退火炉排气装置，包括罩式退火炉(1)，其特征在于：所述罩式退火炉(1)的顶端通过螺栓安装设置有安装板(2)，所述安装板(2)的顶端开设有贯穿口，所述贯穿口的内部固定连接有导气管(3)，所述导气管(3)的底端延伸至罩式退火炉(1)的内部，所述导气管(3)的内部固定连接有限制片(4)，所述限制片(4)的顶端开设有气口(5)，所述限制片(4)的顶端开设有多个螺纹安装孔(15)，且多个螺纹安装孔(15)以气口(5)的圆心为原点进行圆周排列，多个所述螺纹安装孔(15)的内部均设置有限位杆(6)，多个所述限位杆(6)的顶端设置有安装盘(7)，所述安装盘(7)的底端中心处固定连接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)的底端固定连接有陶瓷分隔片(9)，所述导气管(3)的外壁靠近顶部边缘处套设有过滤箱(11)，所述过滤箱(11)的前后两侧外表面均开设有过滤口，两个所述过滤口的内部均安装设置有过滤网(12)。

2.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述安装盘(7)的内部安装设置有弹簧(10)，所述弹簧(10)的顶端固定连接于安装盘(7)的底面。

3.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述陶瓷分隔片(9)的半径大于气口(5)的半径，且陶瓷分隔片(9)设置于气口(5)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述安装盘(7)顶端开设有多个贯穿孔，多个所述贯穿孔均开设于对应的限位杆(6)上方。

5.根据权利要求4所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：多个所述贯穿孔均贯穿限位杆(6)的底面，多个所述贯穿孔的内部均插设有长螺栓，多个所述长螺栓均与对应的螺纹安装孔(15)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种罩式退火炉排气装置，其特征在于：所述导气管(3)的外壁套设有冷却箱(13)，所述冷却箱(13)的一侧外表面贯穿设置有出气管(14)。

说明书：一种罩式退火炉排气装置技术领域[0001] 本实用新型涉及计算机信号接收设备技术领域，更具体地说，涉及一种罩式退火炉排气装置。

背景技术[0002] 退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换

成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注

入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为

加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤

维结构，节电60％。

[0003] 现有的罩式退火炉排气装置在使用时，需要用户手动对排气口进行操作，从而使其进行排气或封闭，由于退火炉排出的气体带有高温和杂质，会对操作人员造成困扰，同时

退火炉排出的热气往往掺杂有大量的机油，贸然排出会造成空气污染，不利于节约和环保。

实用新型内容

[0004] 1.要解决的技术问题[0005] 针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种罩式退火炉排气装置，它可以通过陶瓷分隔片的限制和弹簧的运作，使陶瓷分隔片将气口封闭，使得罩式退火

炉内部与外界空气不再流通，以保障内部气体的成分，避免外界气体流入造成产品品质受

到影响，通过过滤网来对排出的热气进行过滤，减少其中的机油和杂质。

[0006] 2.技术方案[0007] 为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：[0008] 一种罩式退火炉排气装置，包括罩式退火炉，所述罩式退火炉的顶端通过螺栓安装设置有安装板，所述安装板的顶端开设有贯穿口，所述贯穿口的内部固定连接有导气管，

所述导气管的底端延伸至罩式退火炉的内部，所述导气管的内部固定连接有限制片，所述

限制片的顶端开设有气口，所述限制片的顶端开设有多个螺纹安装孔，且多个螺纹安装孔

以气口的圆心为原点进行圆周排列，多个所述螺纹安装孔的内部均设置有限位杆，多个所

述限位杆的顶端设置有安装盘，所述安装盘的底端中心处固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆

的底端固定连接有陶瓷分隔片，所述导气管的外壁靠近顶部边缘处套设有过滤箱，所述过

滤箱的前后两侧外表面均开设有过滤口，两个所述过滤口的内部均安装设置有过滤网。

[0009] 作为本实用新型的一种优选方案，所述安装盘的内部安装设置有弹簧，所述弹簧的顶端固定连接于安装盘的底面。

[0010] 作为本实用新型的一种优选方案，所述陶瓷分隔片的半径大于气口的半径，且陶瓷分隔片设置于气口的上方。

[0011] 作为本实用新型的一种优选方案，所述安装盘顶端开设有多个贯穿孔，多个所述贯穿孔均开设于对应的限位杆上方。

[0012] 作为本实用新型的一种优选方案，多个所述贯穿孔均贯穿限位杆的底面，多个所述贯穿孔的内部均插设有长螺栓，多个所述长螺栓均与对应的螺纹安装孔螺纹连接。

[0013] 作为本实用新型的一种优选方案，所述导气管的外壁套设有冷却箱，所述冷却箱的一侧外表面贯穿设置有出气管。

[0014] 3.有益效果[0015] 相比于现有技术，本实用新型提供了一种罩式退火炉排气装置，具有以下有益效果：

[0016] (1)、该罩式退火炉排气装置，通过陶瓷分隔片的限制，减少罩式退火炉内部的气压，从而防止内部气压过高，通过弹簧通过推动伸缩杆来将陶瓷分隔片向下压动，使陶瓷分

隔片将气口封闭，使得罩式退火炉内部与外界空气不再流通，以保障内部气体的成分，避免

外界气体流入造成产品品质受到影响。

[0017] (2)、该罩式退火炉排气装置，通过过滤网来对排出的热气进行过滤，减少其中的机油和杂质，同时热气通过冷却箱冷却后再从出气管导出，减少罩式退火炉所造成的污染，

提高了环保效果。

附图说明[0018] 图1为本实用新型的正视图；[0019] 图2为本实用新型安装板的仰视图；[0020] 图3为本实用新型冷却箱的剖视图；[0021] 图4为本实用新型安装盘的正视图；[0022] 图5为本实用新型限制片的正视图；[0023] 图6为本实用新型弹簧的正视图；[0024] 图7为本实用新型限制片的正视图。[0025] 图中标号说明：[0026] 1、罩式退火炉；2、安装板；3、导气管；4、限制片；5、气口；6、限位杆；7、安装盘；8、伸缩杆；9、陶瓷分隔片；10、弹簧；11、过滤箱；12、过滤网；13、冷却箱；14、出气管；15、螺纹安装

孔。

具体实施方式[0027] 下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的

实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下

所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0028] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型

和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构

造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目

的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0029] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以

是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以

通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可

以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

[0030] 实施例：[0031] 请参阅图1?7，一种罩式退火炉排气装置，包括罩式退火炉1，罩式退火炉1的顶端通过螺栓安装设置有安装板2，安装板2的顶端开设有贯穿口，贯穿口的内部固定连接有导

气管3，导气管3的底端延伸至罩式退火炉1的内部，导气管3的内部固定连接有限制片4，限

制片4的顶端开设有气口5，限制片4的顶端开设有多个螺纹安装孔15，且多个螺纹安装孔15

以气口5的圆心为原点进行圆周排列，多个螺纹安装孔15的内部均设置有限位杆6，多个限

位杆6的顶端设置有安装盘7，安装盘7的底端中心处固定连接有伸缩杆8，伸缩杆8的底端固

定连接有陶瓷分隔片9，导气管3的外壁靠近顶部边缘处套设有过滤箱11，过滤箱11的前后

两侧外表面均开设有过滤口，两个过滤口的内部均安装设置有过滤网12。

[0032] 在本实用新型的具体实施例中，通过陶瓷分隔片9的限制，当罩式退火炉1启动时，内部升温，造成空气膨胀，热气将陶瓷分隔片9顶起，使得一部分的热气流出，减少罩式退火

炉1内部的气压，从而防止内部气压过高，通过更换不同型号的弹簧10，可以满足用户对于

罩式退火炉1内部不同气压的需求，当热气流出后，内部气压降低，弹簧10通过推动伸缩杆8

来将陶瓷分隔片9向下压动，使陶瓷分隔片9将气口5封闭，使得罩式退火炉1内部与外界空

气不再流通，以保障内部气体的成分，避免外界气体流入造成产品品质受到影响，同时由于

罩式退火炉1排出的热气裹挟有大量的机油，贸然排出会造成管道积油和空气污染，通过过

滤网12来对排出的热气进行过滤，减少其中的机油和杂质，同时热气通过冷却箱13冷却后

再从出气管14导出，减少罩式退火炉1所造成的污染，提升了环保效果。

[0033] 具体的请结合图所示，安装盘7的内部安装设置有弹簧10，弹簧10的顶端固定连接于安装盘7的底面。

[0034] 本实施例中，通过弹簧10来控制陶瓷分隔片9的打开或封闭状态。[0035] 具体的请结合图所示，陶瓷分隔片9的半径大于气口5的半径，且陶瓷分隔片9设置于气口5的上方。

[0036] 本实施例中，通过陶瓷分隔片9来控制气口5的打开或封闭状态。[0037] 具体的请结合图所示，安装盘7顶端开设有多个贯穿孔，多个贯穿孔均开设于对应的限位杆6上方。

[0038] 本实施例中，通过贯穿孔来安装长螺栓，从而对限位杆6进行安装和固定。[0039] 具体的请结合图所示，多个贯穿孔均贯穿限位杆6的底面，多个贯穿孔的内部均插设有长螺栓，多个长螺栓均与对应的螺纹安装孔15螺纹连接。

[0040] 本实施例中，通过螺纹安装孔15来对长螺栓进行安装和固定，用户可以借此来对限位杆6进行安装或拆卸。

[0041] 具体的请结合图所示，导气管3的外壁套设有冷却箱13，冷却箱13的一侧外表面贯穿设置有出气管14。

[0042] 本实施例中，通过冷却箱13来对罩式退火炉1排出的热气进行冷却，再通过出气管14排出。

[0043] 工作原理：通过陶瓷分隔片9的限制，当罩式退火炉1启动时，内部升温，造成空气膨胀，热气将陶瓷分隔片9顶起，使得一部分的热气流出，减少罩式退火炉1内部的气压，从

而防止内部气压过高，通过更换不同型号的弹簧10，可以满足用户对于罩式退火炉1内部不

同气压的需求，当热气流出后，内部气压降低，弹簧10通过推动伸缩杆8来将陶瓷分隔片9向

下压动，使陶瓷分隔片9将气口5封闭，使得罩式退火炉1内部与外界空气不再流通，以保障

内部气体的成分，避免外界气体流入造成产品品质受到影响，同时由于罩式退火炉1排出的

热气裹挟有大量的机油，贸然排出会造成管道积油和空气污染，通过过滤网12来对排出的

热气进行过滤，减少其中的机油和杂质，同时热气通过冷却箱13冷却后再从出气管14导出，

减少罩式退火炉1所造成的污染，提升了环保效果。

[0044] 本实用新型的控制方式是通过人工启动和关闭开关来控制，动力元件的接线图与电源的提供属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用

新型不再详细解释控制方式和接线布置。

[0045] 以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用

新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围

内。