权利要求书： 1.一种单晶炉排气管道，包括固定连接的连接管(1)和竖直管(2)，其特征在于：所述连接管(1)和竖直管(2)的侧壁分别开设有第一通孔(5)和第二通孔(6)，所述连接管(1)和竖直管(2)的外侧壁分别装配有第一保护组件(3)和第二保护组件(4)，所述竖直管(2)的底端通过固定螺栓(7)固定装配有封盖(8)，所述竖直管(2)的顶端通过固定螺丝(10)固定装配有端盖(9)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述第一保护组件(3)包括第一安装座(31)，所述第一安装座(31)一体成型于连接管(1)的侧壁，所述第一安装座(31)内转动连接有第一保护罩(32)，所述第一保护罩(32)的侧壁均匀开设有第一连接孔(33)，所述第一保护罩(32)的两端分别开设有第一卡槽(34)，所述第一安装座(31)的顶部插接有贯穿至第一卡槽(34)内的第一卡销(35)，所述第一保护罩(32)的侧壁固定连接有第一固定板(36)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述第二保护组件(4)包括第二安装座(41)，所述第二安装座(41)一体成型于竖直管(2)的侧壁，所述第二安装座(41)内转动连接有第二保护罩(42)，所述第二保护罩(42)的侧壁开设有第二连接孔(43)，所述第二保护罩(42)的顶部开设有第二卡槽(44)，所述第二安装座(41)的顶部插接有贯穿至第二卡槽(44)内的第二卡销(45)，所述第二保护罩(42)的侧壁固定连接有第二固定板(46)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述第一通孔(5)均匀开设在连接管(1)的顶部侧壁，所述第二通孔(6)呈轴对称均匀开设在竖直管(2)的侧壁。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述端盖(9)包括底座(91)，所述底座(91)通过固定螺丝(10)与竖直管(2)的顶端相固定连接，所述底座(91)的顶部通过支撑轴(92)固定连接有顶部固定座(93)，所述顶部固定座(93)的顶部装配有顶部盖体(94)，所述顶部盖体(94)的底部固定连接有贯穿至支撑轴(92)内腔的伸缩轴(95)。
说明书： 一种单晶炉排气管道技术领域[0001] 本实用新型涉及单晶炉技术领域，具
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“单晶炉排气管道” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：辽宁博芯科半导体材料有限公司
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2025年06月20日 ~ 22日 
