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用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备

1072   编辑:中冶有色技术网   来源:正芯半导体技术(深圳)有限公司  
2024-01-11 15:53:10
权利要求书: 1.用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:包括机架(1)、电机座(14)、纵向调节机构(7)、横向调节机构(5)、导向机构(6)、电动推杆(2)、导气盒(3)和流量调节阀(24);

机架(1):底部内侧分别安装有第一带式输送机(10)和第二带式输送机(12),且第一带式输送机(10)和第二带式输送机(12)左右对称设置,所述机架(1)的底部固定有伸缩杆(18),伸缩杆(18)的底部设有脚垫(16),所述伸缩杆(18)上套接有弹簧(17),弹簧(17)分布在机架(1)与脚垫(16)之间;

电机座(14):滑动连接在机架(1)的底部侧面,所述电机座(14)上安装有伺服电机(13);

纵向调节机构(7):呈前后方向固定在机架(1)的顶部内侧,所述纵向调节机构(7)的调节部位上固定有连接座(9);

横向调节机构(5):呈左右方向固定在连接座(9)的内侧,所述横向调节机构(5)的端部通过传动机构(4)与伺服电机(13)的输出轴传动连接;

导向机构(6):呈左右方向固定在连接座(9)的内侧,所述导向机构(6)的活动部位通过传动杆(8)与横向调节机构(5)的调节部位连接;

电动推杆(2):安装在导向机构(6)的活动部位底部;

导气盒(3):固定在电动推杆(2)的伸缩端部,所述导气盒(3)的内侧安装有风机(27),导气盒(3)的侧面开设有排气口(26),且排气口(26)位于风机(27)的上方,所述导气盒(3)的底部连通固定有吸管(23),吸管(23)为软管,所述吸管(23)的底部固定有吸盘(22),吸盘(22)的底部设有缓冲垫(21),且缓冲垫(21)为橡胶垫,所述缓冲垫(21)通过压力检测杆(20)与导气盒(3)的底部连接,压力检测杆(20)与导气盒(3)的连接处安装有压力传感器(25);

流量调节阀(24):安装在吸管(23)与导气盒(3)的连接处;

其中,还包括高速工业摄像机(19)和激光测量仪(28),所述高速工业摄像机(19)和激光测量仪(28)均安装在导气盒(3)的侧面,高速工业摄像机(19)、激光测量仪(28)和压力传感器(25)均与外部单片机双向电连接,所述第一带式输送机(10)、第二带式输送机(12)、流量调节阀(24)、风机(27)、电动推杆(2)和伺服电机(13)的输入端电连接外部单片机的输出端。

2.根据权利要求1所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:所述纵向调节机构(7)包括导轨(71)和直线电机(72),导轨(71)的端部与机架(1)的内壁焊接,所述直线电机(72)装配在导轨(71)上,连接座(9)固定在直线电机(72)的侧面,所述直线电机(72)的输入端电连接外部单片机的输出端,所述直线电机(72)通过随移架(30)与电机座(14)连接。

3.根据权利要求1所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:所述横向调节机构(5)包括丝杆(51)和传动螺母(52),丝杆(51)转动安装在连接座(9)上,所述传动螺母(52)与丝杆(51)螺纹连接,传动螺母(52)与传动杆(8)的顶部固定。

4.根据权利要求3所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:所述传动机构(4)包括主动轮(41)、皮带(42)和从动轮(43),主动轮(41)固定在伺服电机(13)的输出轴上,所述从动轮(43)固定在丝杆(51)的外端部,主动轮(41)通过皮带(42)与从动轮(43)传动连接。

5.根据权利要求4所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:所述主动轮(41)和从动轮(43)均为带轮,皮带(42)为带。

6.根据权利要求5所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:所述皮带(42)有两组,两组皮带(42)平行阵列设置。

7.根据权利要求1所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:所述导向机构(6)包括导杆(61)和安装座(62),导杆(61)的端部与连接座(9)的内侧固定连接,所述安装座(62)与导杆(61)滑动连接,安装座(62)与传动杆(8)的底部固定连接,所述电动推杆(2)安装在安装座(62)的底部。

8.根据权利要求1所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:还包括防尘网(15),所述防尘网(15)安装在导气盒(3)的侧面,防尘网(15)对应排气口(26)的位置进行分布。

9.根据权利要求1所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:还包括加强板(11),所述加强板(11)固定在第一带式输送机(10)和第二带式输送机(12)的侧板之间,加强板(11)的端部与第一带式输送机(10)和第二带式输送机(12)的侧板焊接。

10.根据权利要求1所述的用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,其特征在于:还包括凹槽(29),所述凹槽(29)有两组,一组凹槽(29)开设在机架(1)上,另一组凹槽(29)开设在脚垫(16)上,所述弹簧(17)的端部伸入到凹槽(29)的内侧。

说明书: 用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备技术领域[0001] 本实用新型涉及半导体自动分拣封装检测技术领域,具体为用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备。背景技术[0002] 所谓封装测试其实就是封装后测试,把已制造完成的半导体元件进行结构及电气功能的确认,以保证半导体元件符合系统的需求的过程称为封装后测试,目前的半导体封装检测设备无法对半导体进行自动分拣,不能很好的满足人们的使用需求;[0003] 现有技术中:申请公布号CN111957611A的专利公开了一种用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,包括振动盘,所述振动盘的下方设置有隔板,所述导轨的右侧设置有伸缩杆,所述上料工作箱的上方设置有第一伺服电机,所述上料工作箱的内部上方焊接有第一直线齿条,所述第一异形齿轮的下方安装有第二直线齿条,所述伸缩杆的上方设置有第一锁销,所述第一连杆的上方左侧设置有第二锁销,所述升降柱的下方焊接有压板,该用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,与现有的普通封装检测设备相比,其采用振动盘对半导体进行输送,半导体在振动过程中容易刮伤,其需要人力对半导体元件进行外观检测,费时费力。实用新型内容

[0004] 本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,输送过程平缓,避免了振动输送方式对半导体元件造成的损伤,能够对半导体元件进行智能外观检测,提高了检测的精度和效率,省时省力,机械化程度高,分拣效率高,可以有效解决背景技术中的问题。[0005] 为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,包括机架、电机座、纵向调节机构、横向调节机构、导向机构、电动推杆、导气盒和流量调节阀;[0006] 机架:底部内侧分别安装有第一带式输送机和第二带式输送机,且第一带式输送机和第二带式输送机左右对称设置,所述机架的底部固定有伸缩杆,伸缩杆的底部设有脚垫,所述伸缩杆上套接有弹簧,弹簧分布在机架与脚垫之间;[0007] 电机座:滑动连接在机架的底部侧面,所述电机座上安装有伺服电机;[0008] 纵向调节机构:呈前后方向固定在机架的顶部内侧,所述纵向调节机构的调节部位上固定有连接座;[0009] 横向调节机构:呈左右方向固定在连接座的内侧,所述横向调节机构的端部通过传动机构与伺服电机的输出轴传动连接;[0010] 导向机构:呈左右方向固定在连接座的内侧,所述导向机构的活动部位通过传动杆与横向调节机构的调节部位连接;[0011] 电动推杆:安装在导向机构的活动部位底部;[0012] 导气盒:固定在电动推杆的伸缩端部,所述导气盒的内侧安装有风机,导气盒的侧面开设有排气口,且排气口位于风机的上方,所述导气盒的底部连通固定有吸管,吸管为软管,所述吸管的底部固定有吸盘,吸盘的底部设有缓冲垫,且缓冲垫为橡胶垫,所述缓冲垫通过压力检测杆与导气盒的底部连接,压力检测杆与导气盒的连接处安装有压力传感器;[0013] 流量调节阀:安装在吸管与导气盒的连接处;[0014] 其中,还包括高速工业摄像机和激光测量仪,所述高速工业摄像机和激光测量仪均安装在导气盒的侧面,高速工业摄像机、激光测量仪和压力传感器均与外部单片机双向电连接,所述第一带式输送机、第二带式输送机、流量调节阀、风机、电动推杆和伺服电机的输入端电连接外部单片机的输出端。[0015] 进一步的,所述纵向调节机构包括导轨和直线电机,导轨的端部与机架的内壁焊接,所述直线电机装配在导轨上,连接座固定在直线电机的侧面,所述直线电机的输入端电连接外部单片机的输出端,所述直线电机通过随移架与电机座连接,直线电机在导轨上做直线运动,直线电机带动连接座移动,从而对高速工业摄像机和激光测量仪的前后工作位置进行调节,从而来扩大检测路径,直线电机在移动过程中通过随移架带动电机座沿着机架滑动。[0016] 进一步的,所述横向调节机构包括丝杆和传动螺母,丝杆转动安装在连接座上,所述传动螺母与丝杆螺纹连接,传动螺母与传动杆的顶部固定,丝杆与传动螺母螺纹传动,从而通过传动杆对导向机构进行传动。[0017] 进一步的,所述传动机构包括主动轮、皮带和从动轮,主动轮固定在伺服电机的输出轴上,所述从动轮固定在丝杆的外端部,主动轮通过皮带与从动轮传动连接,伺服电机的输出轴带动主动轮转动,主动轮通过皮带与从动轮传动,从动轮带动丝杆转动,通过传动可以对伺服电机进行低位安装,从而方便对伺服电机进行维护。[0018] 进一步的,所述主动轮和从动轮均为带轮,皮带为带,保证了传动的稳定性。[0019] 进一步的,所述皮带有两组,两组皮带平行阵列设置,即使一组皮带损坏,另一组皮带仍然可以对主动轮与从动轮进行传动。[0020] 进一步的,所述导向机构包括导杆和安装座,导杆的端部与连接座的内侧固定连接,所述安装座与导杆滑动连接,安装座与传动杆的底部固定连接,所述电动推杆安装在安装座的底部,传动螺母通过传动杆带动安装座沿着导杆滑动,安装座带动电动推杆进行左右移动,从而对吸盘的作用位置进行调节,从而使吸盘能够将不合格产品转移到第二带式输送机上,其机械化程度高,提高了分拣的效率。[0021] 进一步的,还包括防尘网,所述防尘网安装在导气盒的侧面,防尘网对应排气口的位置进行分布,防尘网用于避免外界灰尘通过排气口进入到导气盒内。[0022] 进一步的,还包括加强板,所述加强板固定在第一带式输送机和第二带式输送机的侧板之间,加强板的端部与第一带式输送机和第二带式输送机的侧板焊接,加强板用于加强第一带式输送机和第二带式输送机的侧板之间的连接强度。[0023] 进一步的,还包括凹槽,所述凹槽有两组,一组凹槽开设在机架上,另一组凹槽开设在脚垫上,所述弹簧的端部伸入到凹槽的内侧,凹槽用于避免弹簧发生偏移。[0024] 与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,具有以下好处:[0025] 1、电动推杆的伸缩端带动导气盒进行升降运动,从而使吸盘能够与半导体元件的表面接触,风机工作并通过吸管为吸盘提供吸附力,吸盘将半导体元件吸附在缓冲垫上,缓冲垫通过压力检测杆对压力传感器产生压力,压力传感器对吸附压力进行检测,检测的信息传递给外部单片机,外部单片机对信息进行分析处理并通过流量调节阀调节吸管内部空气的流通量,从而对吸附力大小进行调节,其机械化程度高,省去了人力分拣的麻烦,效率高。[0026] 2、高速工业摄像机对半导体元件的外观进行检测,激光测量仪对半导体元件的尺寸进行测量,测量和检测的信息均传递给外部单片机,外部单片机根据参数信息判断半导体元件是否合格,合格的产品随着第一带式输送机继续输送,不合格的产品被转移到第二带式输送机进行输送,其能够对半导体元件进行智能外观检测,提高了检测的精度和效率,省时省力,同时,其输送过程平缓,避免了振动输送方式对半导体元件造成的损伤。[0027] 3、伺服电机的输出轴带动主动轮转动,主动轮通过皮带与从动轮传动,从动轮带动丝杆转动,丝杆与传动螺母螺纹传动,传动螺母通过传动杆带动安装座沿着导杆滑动,安装座带动电动推杆进行左右移动,从而对吸盘的作用位置进行调节,从而使吸盘能够将不合格产品转移到第二带式输送机上,其机械化程度高,提高了半导体的分拣的效率。附图说明[0028] 图1为本实用新型结构示意图;[0029] 图2为本实用新型底部结构示意图;[0030] 图3为本实用新型结构第一剖面图;[0031] 图4为本实用新型结构第二剖面图。[0032] 图中:1机架、2电动推杆、3导气盒、4传动机构、41主动轮、42皮带、43从动轮、5横向调节机构、51丝杆、52传动螺母、6导向机构、61导杆、62安装座、7纵向调节机构、71导轨、72直线电机、8传动杆、9连接座、10第一带式输送机、11加强板、12第二带式输送机、13伺服电机、14电机座、15防尘网、16脚垫、17弹簧、18伸缩杆、19高速工业摄像机、20压力检测杆、21缓冲垫、22吸盘、23吸管、24流量调节阀、25压力传感器、26排气口、27风机、28激光测量仪、29凹槽、30随移架。

具体实施方式[0033] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。[0034] 请参阅图1?4,本实用新型提供一种技术方案:用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备,包括机架1、电机座14、纵向调节机构7、横向调节机构5、导向机构6、电动推杆2、导气盒3和流量调节阀24;

[0035] 机架1:底部内侧分别安装有第一带式输送机10和第二带式输送机12,且第一带式输送机10和第二带式输送机12左右对称设置,所述机架1的底部固定有伸缩杆18,伸缩杆18的底部设有脚垫16,所述伸缩杆18上套接有弹簧17,弹簧17分布在机架1与脚垫16之间;[0036] 机架1产生的不良震动驱使伸缩杆18收缩,伸缩杆18在收缩过程中使弹簧17发生形变,弹簧17通过形变对震动能量进行减弱,其增加了该封装检测设备的抗震性能,避免了不良震动对检测结果的影响;[0037] 电机座14:滑动连接在机架1的底部侧面,电机座14上安装有伺服电机13;[0038] 纵向调节机构7:呈前后方向固定在机架1的顶部内侧,纵向调节机构7的调节部位上固定有连接座9;[0039] 横向调节机构5:呈左右方向固定在连接座9的内侧,横向调节机构5的端部通过传动机构4与伺服电机13的输出轴传动连接;[0040] 导向机构6:呈左右方向固定在连接座9的内侧,导向机构6的活动部位通过传动杆8与横向调节机构5的调节部位连接;

[0041] 电动推杆2:安装在导向机构6的活动部位底部;[0042] 导气盒3:固定在电动推杆2的伸缩端部,导气盒3的内侧安装有风机27,导气盒3的侧面开设有排气口26,且排气口26位于风机27的上方,导气盒3的底部连通固定有吸管23,吸管23为软管,吸管23的底部固定有吸盘22,吸盘22的底部设有缓冲垫21,且缓冲垫21为橡胶垫,缓冲垫21通过压力检测杆20与导气盒3的底部连接,压力检测杆20与导气盒3的连接处安装有压力传感器25;[0043] 流量调节阀24:安装在吸管23与导气盒3的连接处;[0044] 电动推杆2的伸缩端带动导气盒3进行升降运动,从而使吸盘22能够与半导体元件的表面接触,风机27工作并通过吸管23为吸盘22提供吸附力,吸盘22将半导体元件吸附在缓冲垫21上,缓冲垫21通过压力检测杆20对压力传感器25产生压力,压力传感器25对吸附压力进行检测,检测的信息传递给外部单片机,外部单片机对信息进行分析处理并通过流量调节阀24调节吸管23内部空气的流通量,从而对吸附力大小进行调节,其机械化程度高,省去了人力分拣的麻烦,效率高;[0045] 其中,还包括高速工业摄像机19和激光测量仪28,高速工业摄像机19和激光测量仪28均安装在导气盒3的侧面,高速工业摄像机19、激光测量仪28和压力传感器25均与外部单片机双向电连接,第一带式输送机10、第二带式输送机12、流量调节阀24、风机27、电动推杆2和伺服电机13的输入端电连接外部单片机的输出端。[0046] 高速工业摄像机19对半导体元件的外观进行检测,激光测量仪28对半导体元件的尺寸进行测量,测量和检测的信息均传递给外部单片机,外部单片机根据参数信息判断半导体元件是否合格,合格的产品随着第一带式输送机10继续输送,不合格的产品被转移到第二带式输送机12进行输送,其能够对半导体元件进行智能外观检测,提高了检测的精度和效率,省时省力。[0047] 纵向调节机构7包括导轨71和直线电机72,导轨71的端部与机架1的内壁焊接,直线电机72装配在导轨71上,连接座9固定在直线电机72的侧面,直线电机72的输入端电连接外部单片机的输出端,直线电机72通过随移架30与电机座14连接,直线电机72在导轨71上做直线运动,直线电机72带动连接座9移动,从而对高速工业摄像机19和激光测量仪28的前后工作位置进行调节,从而来扩大检测路径,直线电机72在移动过程中通过随移架30带动电机座14沿着机架滑动。[0048] 横向调节机构5包括丝杆51和传动螺母52,丝杆51转动安装在连接座9上,传动螺母52与丝杆51螺纹连接,传动螺母52与传动杆8的顶部固定,丝杆51与传动螺母52螺纹传动,从而通过传动杆8对导向机构6进行传动。[0049] 传动机构4包括主动轮41、皮带42和从动轮43,主动轮41固定在伺服电机13的输出轴上,从动轮43固定在丝杆51的外端部,主动轮41通过皮带42与从动轮43传动连接,伺服电机13的输出轴带动主动轮41转动,主动轮41通过皮带42与从动轮43传动,从动轮43带动丝杆51转动,通过传动可以对伺服电机13进行低位安装,从而方便对伺服电机13进行维护。[0050] 主动轮41和从动轮43均为带轮,皮带42为带,保证了传动的稳定性。[0051] 皮带42有两组,两组皮带42平行阵列设置,即使一组皮带42损坏,另一组皮带42仍然可以对主动轮41与从动轮43进行传动。[0052] 导向机构6包括导杆61和安装座62,导杆61的端部与连接座9的内侧固定连接,安装座62与导杆61滑动连接,安装座62与传动杆8的底部固定连接,电动推杆2安装在安装座62的底部,传动螺母52通过传动杆8带动安装座62沿着导杆61滑动,安装座62带动电动推杆

2进行左右移动,从而对吸盘22的作用位置进行调节,从而使吸盘22能够将不合格产品转移到第二带式输送机12上,其机械化程度高,提高了分拣的效率。

[0053] 还包括防尘网15,防尘网15安装在导气盒3的侧面,防尘网15对应排气口26的位置进行分布,防尘网15用于避免外界灰尘通过排气口26进入到导气盒3内。[0054] 还包括加强板11,加强板11固定在第一带式输送机10和第二带式输送机12的侧板之间,加强板11的端部与第一带式输送机10和第二带式输送机12的侧板焊接,加强板11用于加强第一带式输送机10和第二带式输送机12的侧板之间的连接强度。[0055] 还包括凹槽29,凹槽29有两组,一组凹槽29开设在机架1上,另一组凹槽29开设在脚垫16上,弹簧17的端部伸入到凹槽29的内侧,凹槽29用于避免弹簧17发生偏移。[0056] 在使用时:机架1产生的不良震动驱使伸缩杆18收缩,伸缩杆18在收缩过程中使弹簧17发生形变,弹簧17通过形变对震动能量进行减弱,凹槽29用于避免弹簧17发生偏移。[0057] 第一带式输送机10对半导体元件和合格的半导体元件进行输送,第二带式输送机12对不合格的半导体元件进行输送。

[0058] 电动推杆2的伸缩端带动导气盒3进行升降运动,从而使吸盘22能够与半导体元件的表面接触,风机27工作并通过吸管23为吸盘22提供吸附力,吸盘22将半导体元件吸附在缓冲垫21上,缓冲垫21通过压力检测杆20对压力传感器25产生压力,压力传感器25对吸附压力进行检测,检测的信息传递给外部单片机,外部单片机对信息进行分析处理并通过流量调节阀24调节吸管23内部空气的流通量,从而对吸附力大小进行调节。[0059] 防尘网15用于避免外界灰尘通过排气口26进入到导气盒3内。[0060] 高速工业摄像机19对半导体元件的外观进行检测,激光测量仪28对半导体元件的尺寸进行测量,测量和检测的信息均传递给外部单片机,外部单片机根据参数信息判断半导体元件是否合格,合格的产品随着第一带式输送机10继续输送,不合格的产品被转移到第二带式输送机12进行输送。[0061] 直线电机72在导轨71上做直线运动,直线电机72带动连接座9移动,从而对高速工业摄像机19和激光测量仪28的前后工作位置进行调节。[0062] 直线电机72在移动过程中通过随移架30带动电机座14沿着机架滑动。[0063] 伺服电机13的输出轴带动主动轮41转动,主动轮41通过皮带42与从动轮43传动,从动轮43带动丝杆51转动,丝杆51与传动螺母52螺纹传动,传动螺母52通过传动杆8带动安装座62沿着导杆61滑动,安装座62带动电动推杆2进行左右移动,从而对吸盘22的作用位置进行调节,从而使吸盘22能够将不合格产品转移到第二带式输送机12上。[0064] 值得注意的是:第一带式输送机10、第二带式输送机12、直线电机72、流量调节阀24、风机27、电动推杆2和伺服电机13均根据实际应用场景进行选型配置,高速工业摄像机

19、激光测量仪28和压力传感器25均采用无锡晶锐工业科技有限公司的产品。

[0065] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。



声明:
“用于半导体具有自动分拣功能的封装检测设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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