权利要求书： 1.硫化锌真空气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设有清扫装置，其特征在于：所述清扫装置铰接在炉体的侧壁上且沿所述侧壁翻转，所述清扫装置从气相沉积炉的进口伸入所述气相沉积炉内。
2.根据权利要求1所述的硫化锌真空气相沉积炉，其特征在于：所述清扫装置包括基座和刮刷机构，所述基座铰接在所述气相沉积炉的侧壁上，所述刮刷机构固定在所述基座上且随所述基座翻转置于所述气相沉积炉内。
3.根据权利要求2所述的硫化锌真空气相沉积炉，其特征在于：所述刮刷机构包括伸缩臂，所述伸缩臂的一端固定在所述基座上且与固定在所述基座上的压缩机连通，所述伸缩臂的另一端固定毛刷。
4.根据权利要求3所述的硫化锌真空气相沉积炉，其特征在于：所述伸缩臂包括若干节相互套合的中空管，底部的一节所述中空管固定在所述基座上且与压缩机连通。
说明书： 硫化锌真空气相沉积炉技术领域[0001] 本实用新型涉及一种气相沉积炉，尤其涉及气相沉积炉的清洁机构的改进。背景技术[0002] 气相沉积炉使用过程中会有部分物料残留在炉壁上，因而必须要对炉壁定期进行清洁，现有的清洁方式是直接人工进行清洁，当炉腔较大且深时人工清洁的强度大，清洁不
够均匀，清洁时间长、效率低。
实用新型内容
[0003] 为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种清洁速度快、效率高的硫化锌真空气相沉积炉。
[0004] 本实用新型采用如下技术方案实现：硫化锌真空气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设有清扫装置，所述清扫装置铰接在炉体的侧壁上且沿所述侧壁翻转，所述清扫装置从
气相沉积炉的进口伸入所述气相沉积炉内。
[0005] 所述清扫装置包括基座和刮刷机构，所述基座铰接在所述气相沉积炉的侧壁上，所述刮刷机构固定在所述基座上且随所述基座翻转置于所述气相沉积炉内。
[0006] 所述刮刷机构包括伸缩臂，所述伸缩臂的一端固定在所述基座上且与固定在所述基座上的压缩机连通，所述伸缩臂的另一端固定毛刷。
[0007] 所述伸缩臂包括若干节相互套合的中空管，所述底部的一节中空管固定在所述基座上且与压缩机连通。
[0008] 相比现有技术，本实用新型刮刷机构包括伸缩臂，所述伸缩臂的一端固定在所述基座上且与固定在所述基座上的压缩机连通，所述伸缩臂的另一
声明：
“硫化锌真空气相沉积炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：扬州市硕成伟业电热设备有限公司
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2025年06月06日 ~ 08日 
