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单晶炉硅料复投装置的制作方法

1228   编辑:中冶有色网   来源:辽宁博芯科半导体材料有限公司  
2023-11-06 15:45:16
1.本实用新型涉及硅料复投技术领域,具体涉及一种单晶炉硅料复投装置。 背景技术: 2.单晶炉是生产单晶硅棒的主要设备,在生产单晶硅棒的过程中向单晶炉内所单次添加的次硅料装入量受限,为了保证单晶硅棒的生产质量需要将硅料向单晶炉内进行复投操作,从而满足设备生产单晶硅棒的硅料需求。现有的硅料复投装置大多数的形式较为固定,向单晶炉内进行复投硅料的颗粒大小也较为固定,不能根据不同时间的生产需求将不同颗粒的硅料投入到单晶炉内。为此,我们提出一种单晶炉硅料复投装置。 技术实现要素: 3.本实用新型的目的在于提供一种单晶炉硅料复投装置,以解决上述背景技术中提出的问题。 4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉硅料复投装置,包括底座,所述底座的表面通过支撑架固定装配有底板,所述底板的顶部固定装配有储料桶,所述储料桶的内腔开设有储料腔和装配腔,所述储料腔的底部开设有贯穿至装配腔内的连接孔,所述装配腔的侧壁开设有贯穿储料桶的开口槽,所述储料腔内装配有储料架,所述装配腔内固定装配有与储料架相传动连接的传动机构,所述装配腔内固定装配有连接组件,所述装配腔内通过连接组件固定装配有贯穿开口槽的加料管。 5.优选的,所述储料架内开设有第一料仓、第二料仓和第三料仓,所述第一料仓、第二料仓和第三料仓的底部分别开设有出料孔。 6.优选的,所述传动机构包括传动轴,所述传动轴固定连接在储料架的底部,所述传动轴的底部固定连接有传动齿轮,所述装配腔的内腔固定装配有电机,所述电机的输出端固定连接有驱动齿轮,所述驱动齿轮与传动齿轮相互啮合。 7.优选的,所述连接组件包括连接顶部架,所述连接顶部架固定装配在装配腔内,所述连接顶部架内一体成型有连接管,所述连接顶部架的底部四角处一体成型有连接轴,所述连接轴内滑动连接有伸缩轴,所述伸缩轴的底端与连接底部架固定连接,所述伸缩轴与连接轴的内腔之间固定装配有弹簧,所述连接底部架内开设有导料槽,所述连接管插接至导料槽内,所述加料管固定装配在底部连接架的侧壁,所述底部连接架的侧壁固定装配有振动电机。 8.优选的,所述底座的底部四角处固定装配有移动轮,所述底座的表面焊接固定有把手架。 9.优选的,所述储料桶的顶部装配有盖板,所述盖板的表面固定装配有把手块。 10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:一种单晶炉硅料复投装置,在储料架内设置有第
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