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湖北有色金属分析检测技术理论与应用

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全程永不失效的昶安电热毯控制器

本发明涉及全程永不失效的昶安电热毯控制器,采用的技术方案:先由电流维持闭锁电路为全程昶安自锁电路提供维持闭锁的电流,再由全程昶安自锁电路控制锁控开关继而控制电流维持闭锁电路和电热线的交流电源;用挡位调温开关配合降温器人为调控电热线的温度;用热敏线探测电热线的温度所得的热敏输入端V1b控制全程昶安自锁电路和锁控开关的开关状态,实现过热保护功能;用维持闭锁电流监守过热保护电路状态,能可靠地防止故障失控,保障过热保护功能永不失效,完全消除了以往电热体或电热毯存在的假安隐患和缺陷。可见,本发明是一种全程永不失效的昶安电热毯控制器。

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失效分析
湖北 - 黄冈 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
防止热水器压力阀失效的结构

本实用新型公开了一种防止热水器压力阀失效的结构,其通过在内胆和泄压水管之间设置衬管,衬管包括相互连接的第一衬管部和第二衬管部,第一衬管部与泄压水管固定连接,第二衬管部伸入内胆的内部。压力阀的固定部分与泄压水管固定连接,压力阀的测压部分(即测试探针)伸入第二衬管部内,该衬管可以有效防止内胆与泄压水管连接处缔结水垢,从而避免压力阀失效,延长热水器的使用寿命。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
防止管柱蠕动造成封隔器坐封失效的方法

本发明涉及一种防止封隔器坐封失效的方法,具体涉及一种防止管柱蠕动造成封隔器坐封失效的方法。本发明是在使用扩张式封隔器组成的分注、酸化、压裂管柱中,为了防止管柱蠕动造成扩张式封隔器坐封失效,通过使用隔离坐封器将油管上下分层为两个压力系统,使位于隔离坐封器上部的水力卡瓦封隔器先于下部的扩张式封隔器坐封,且隔离坐封器上可打捞堵头捞出后,为下部工具的坐封、投捞测试提供了足够通道,使隔离坐封器不影响常规的分注、酸化、压裂施工。由于位于隔离坐封器上部的水力卡瓦封隔器坐封后对下部管柱有锚定悬挂作用,能有效防止管柱蠕动造成扩张式封隔器坐封失效,本方法也适于其它水力压缩式封隔器组成的分注、酸化、压裂管柱。

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湖北 - 荆州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于ACC的失效场景判定方法及系统、服务器及介质

本发明公开了一种基于ACC的失效场景判定方法及系统、服务器及存储介质,其在不依赖特定场地特定设计条件下对ACC功能进行专项测试,使用实车路测数据,结合场景定义规则,确定筛选逻辑,从而直接定位可能存在的ACC失效场景,本发明能有效的提高实车路测数据的复用性,降低人力时间成本,直接提升ACC失效场景查找效率,为ACC功能模块优化快速提供数据支持。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
复合防渗衬垫失效破坏模拟系统

本实用新型涉及一种复合防渗衬垫失效破坏模拟系统,属于环境岩土工程技术领域。所述的模拟系统由控制平台、观测装置和模拟装置组成。模拟装置的模拟容器内均匀矩阵排列的液压伸缩杆分别在液压控制阀的控制下产生不同高度的变化,能有效模拟复合防渗衬垫在不均匀沉降变形工况下的变形情况,作用于复合防渗衬垫上的试验溶液的温度压力可根据试验工况调控;三维摄像装置通过模拟装置的标记球对复合防渗衬垫的不均匀沉降实时监测;控制平台上设置试验参数、收集并处理试验数据,大大提高了试验效率。该模拟系统能有效模拟不同溶液浓度、不同温度、不同压强和不同非均匀沉降模式作用下的复合防渗衬垫失效破坏。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
不易失效的压铸模具预顶出结构

本发明公开了一种不易失效的压铸模具预顶出结构,属于压铸模具相关技术领域,其通过优选设置可对应装配的弹簧固定杆、定模推杆顶杆、碟形弹簧和弹簧底座,使得碟形弹簧可在压铸模具未合模时以两端分别抵接弹簧底座和定模推杆顶杆的端面,并确保碟形弹簧处于未压缩的状态,从而有效避免了碟形弹簧在未工作时的预压缩。本发明的预顶出结构,其结构简单,设置简便,不易失效,稳定性高,能有效避免碟形弹簧在未工作时的预压缩,减少了碟形弹簧的断裂和损坏,大大提升了碟形弹簧的循环使用次数,降低了预顶出结构的使用成本,减少了预顶出结构的检修、维护成本,确保了压铸模具应用过程中的连续性和稳定性,具有较好的应用前景和推广价值。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
能够模拟控制类电子设备功能失效的毁伤等效靶

本发明公开了一种能够模拟控制类电子设备功能失效的毁伤等效靶,属于毁伤测试技术领域,包括:与待模拟控制类电子设备外壳结构参数一致的等效外壳以及位于等效外壳中的供电模块、状态指示模块、信号接收模块和信号发送模块;供电模块向信号接收模块、信号发送模块和状态指示模块供电;信号发送模块执行向信号接收模块持续发送信号的功能,以模拟待模拟控制类电子设备内部数据传输和处理功能;状态指示模块与信号发送模块连接,根据收到的信号接收模块的信号是否正常,控制等效外壳处指示灯,通过本发明有效模拟控制类电子设备中印制电路板损坏、线缆拔脱等物理损伤导致的数据传输、处理等核心功能失效,且在试验过程中实时展示设备功能失效情况。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
锂离子动力电池组的故障诊断及失效处理系统以及方法

本发明涉及电动汽车的锂离子动力电池技术领域,提供了一种锂离子动力电池组的故障诊断及失效处理系统,包括电压/温度采集模块、底层MCU、总电压测量模块以及主控器。还提供一种锂离子动力电池组的故障诊断及失效处理方法,包括S1‑S3三个步骤。本发明将动力电池组的故障根据其严重程度分为三个等级,根据采集到的电池组电压、温度等信号的取值范围判断其属于哪一级故障,对每一级不同的故障采用不同的处理措施,从而实现对动力电池组的失效处理。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
芯片失效中心点的定位方法

本发明涉及一种半导体制造技术领域,尤其涉及一种芯片失效中心点的定位方法,通过将待测的芯片摆正在一平整桌面上,并标记方阵区域中心的附近位置之后将芯片放入近红外热点探测机台中获取第一芯片图像与第一印记图像同时调用测量工具量测对应的相关参数,之后将芯片放入聚焦离子束机台中同样获取第二芯片图像与第二印记图像并同时量测对应的相关参数,并根据参数方程计算出芯片失效中心点位置;因此本发明技术方案可以较快的定位到芯片失效中心点的位置并且非常快捷方便,大大节约了机台、时间和人力成本。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
失效锂离子电池正极材料预处理方法

一种失效锂离子电池正极材料预处理方法,包括以下的步骤:S1称取锂盐,加水配制浓度≥0.1mol/L的锂盐溶液;其中,所述的锂盐为无机锂盐;S2测试失效正极材料的缺锂比例x,将S1的锂盐溶液与失效正极材料混合,得到混合物;其中,锂盐溶液的锂与正极材料的摩尔比大于等于失效正极材料的缺锂比例x;S3将S2的混合物在高压水热釜中进行水热反应,监控釜内混合物的的Li+浓度,直至浓度不继续降低,反应完成;其中,水热反应温度≥100℃;S4降温,过滤除去溶剂,水洗除去残余锂盐,烘干得到补锂的正极材料。本发明的方法,能够提高回收材料的再生效率和性能指标,重复性好、资源利用率高,工序简单高效,具有非常高的社会经济价值。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
集成电路电子元器件失效温度筛选装置及方法

本发明公开了一种集成电路电子元器件失效温度筛选装置及方法,其通过设计内热罩和外热罩形成内罩区和外罩区,且通过一升降机构带动内热罩在外热罩内做升降运动,实现内罩区与外罩区的连通或密封设置;并通过温控装置经第一热流控温通道控制内罩区的温度为测试温度,通过温控装置经第二热流控温通道控制外罩区的温度为下一梯度的测试温度;且当内热罩中完成上一个梯度温度点下的测试数据采集时,通过升降机构控制内热罩升起,连通内罩区与外罩区,通过热交换使内招区的温度迅速调节至与外罩区温度一致,从而节省待测集成电路电子元器件在失效温度筛选测试中升降温和温度稳定所需要的时间,进而提高集成电路电子元器件的失效温度筛选测试效率。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
柴油机后处理系统催化器热失效容错控制方法及其装置

本发明公开了一种柴油机后处理系统催化器热失效容错控制方法,包括以下步骤:获取发动机转速和转矩信息,SCR催化器上、下游温度值测量值,SCR催化器下游NOX浓度测量值;预测排气质量流量以及SCR催化器上游NOX浓度估计值;通过扩展卡尔曼滤波算法获取SCR催化器热失效程度信息、SCR催化器氨覆盖度估计值、SCR催化器下游NOX浓度估计值以及SCR催化器下游NH3浓度估计值;通过基于李雅普诺夫稳定性理论设计得到的模型参考自适应容错控制器计算尿素喷射量。本发明提出的柴油机后处理系统催化器热失效容错控制方法,能快速且准确诊断当前Urea‑SCR催化器热失效程度并进行容错控制。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
商用车中间轴制动器失效的诊断方法及诊断系统

本申请涉及一种商用车自动变速箱使用寿命的诊断方法和诊断系统,属于自动变速箱故障诊断技术领域,该方法包括在变速箱出厂前对中间轴制动器的制动冲量进行标定,然后得到中间轴制动器的总制动冲量寿命;接下来监测中间轴制动器的实际制动冲量;再然后判断中间轴制动器是否失效,若失效并告警;再接下来采集变速箱已使用的各制动冲量下的制动次数计算得到已使用制动冲量寿命,最后根据总制动冲量寿命与已使用制动冲量寿命的差值得到剩余制动冲量寿命。本申请通过监测中间轴制动器的制动冲量来判断中间轴制动器是否失效,判断结果更加客观准确,减少误判的可能性,保障了变速箱的安全性,同时能够预测出变速箱的剩余制动冲量寿命,提高用户体验。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
防失效的电热水器缺水保护安控电路

本发明涉及一种防失效的电热水器缺水保护安控电路,采用的技术方案是:在防失效的缺水断电安控电路(6)的输入端和输出端VJ分别连接两探水电极间的水电阻和水控执行器(7)、安控执行器(8)的两控制极,用水控执行器(7)控制电源输出线X1给通电热水器(1)的电源,用安控执行器(8)锁控直流电线V+2为防失效的缺水断电安控电路(6)和水温调控电路(3)传送的直流电压V+1;水温调控电路(3)的输入端和输出端分别连接水温探头(2)探测的水温信号和温控执行器(9)的控制极G3,温控执行器(9)再控制电源输出线X2给通电热水器(1)的电源。本发明在故障时也能确保缺水断电保护控制功能不失效,必定安全。

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湖北 - 黄冈 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
适用于无枕式道床直埋垫板的失效整治方法

本发明公开了一种适用于无枕式道床直埋垫板的失效整治方法,属于道床病害整治领域,其通过测定无枕式道床直埋垫板病害位置的轨道参数,并以其与线路初始设计参数的比较,对应生成了失效整治的参数统计表,并以此为标准选定了对应型号的薄型轨枕,通过局部增加薄型轨枕过渡的解决方案实现无枕式道床直埋垫板的失效整治。本发明适用于无枕式道床直埋垫板的失效整治方法,其步骤简单,作业过程简便,能有效实现无枕式道床直埋垫板的病害整治,提升无枕式道床直埋垫板的设置稳定性,且利用薄型轨枕设计整治方案的灵活性高、兼容性强,可以满足不同现场情况的处理,缩短直埋垫板失效整治的周期,降低失效整治的成本,具有较好的应用前景和推广价值。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
全态永不失效的久安电热毯控制器

本发明涉及全态永不失效的久安电热毯控制器,采用的技术方案:先由电流维持闭锁及断线保护电路为全态久安自锁电路提供维持闭锁的电流,再由全态久安自锁电路控制锁控开关继而控制电流维持闭锁及断线保护电路和电热线的交流电源;用热保线和热漏线之间的隔离层探测电热线的温度所得的信号电压控制全态久安自锁电路和锁控开关的工作状态,实现温度控制和过热保护功能,用维持闭锁电流锁控过热保护及断线闪火保护电路,不论何处发生开路故障,必定导致系统电路开锁,引发锁控开关自动断电,从而保障过热保护功能永不失效,完全消除了以往电热毯存在的假安隐患和缺陷。可见本发明是一种全态永不失效的久安电热毯控制器。

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湖北 - 黄冈 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
研究爆破作用下桩基失效的模型试验装置

本发明公开了一种用于研究爆破作用下桩基失效的模型试验装置,包含模型试验框架、吸波装置、岩土体模拟材料、桩基、反力架、液压加载设备、爆源及动态数据监测采集系统。模型试验框架上部敞口,底部及四壁采用珍珠棉铺设吸收爆炸应力波以模拟无限岩土体,模型箱内部铺设相似材料如岩体及土体层以模拟实际工程中的岩土体。数据监测系统采集记录炸药爆炸过程中桩基的动态响应参数,液压加载设备用以测量爆炸前后桩基极限承载力的劣化。本发明的有益效果是:可以真实测量实际工况中地下桩基受临近隧道爆破开挖产生的应力波作用下动态响应及其失效,另一方面,本装置便于更换桩基种类,以便研究不同桩基类型受隧道爆破应力波作用下的响应及失效机制。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
汽车颗粒捕集器温度传感器失效控制方法

本发明公开了一种汽车颗粒捕集器温度传感器失效控制方法,当检测到颗粒捕集器温度传感器故障时,进入故障控制模式,首先立即提示故障并停止颗粒捕集器主动再生控制;若故障没修复且车辆继续行驶里程大于设定行驶里程时,通过控制发动机运行参数降低颗粒捕集器的累碳量;若故障已修复且行驶时间大于设定复位时间时,颗粒捕集器的累碳量复位为0,进入正常控制模式。该方法可以在颗粒捕集器温度传感器故障时,避免误导驾驶员以及颗粒捕集器烧坏的风险,同时也避免累碳量过高出现堵塞,提高了整车的安全性。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
防故障失效的安全漏电保护器

本发明涉及一种防故障失效的安全漏电保护器。采用的技术方法:用零序电流互感器次级线圈在串联电阻上的分压来维持常通闭锁与失持反锁及逻辑控制电路处于常通状态,控制驱动执行电路接通负载交流电源;用零序电流互感器次级线圈感应的漏电信号电压来触发常通闭锁与失持反锁及逻辑控制电路处于截止状态,强迫驱动执行电路切断负载交流电源,实现漏电保护控制;用失持底限和反锁电路及逻辑控制电路来监控零序电流互感器次级线圈断线和电路某处开路或短路等异常故障,并进行失持反锁或闭锁截止的安全保护控制,强迫驱动执行电路切断负载的交流电源。因而,本发明能避免或防止自身异常故障时的触电事故,确保用电时人身安全。

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湖北 - 黄冈 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
预防开阀失效的电池
预防开阀失效的电池 881     
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本实用新型公开了一种预防开阀失效的电池。所述预防开阀失效的电池包括:电池主体,所述电池主体上设置有电池防爆阀;真空仓,设于所述电池主体内部;真空仓开启阀,设于所述真空仓与所述电池主体的内部空间之间,所述真空仓开启阀的开阀压力小于所述电池防爆阀的开阀压力。本实用新型能够在电池防爆阀开启前提前检测到电池防爆阀即将开启,达到预防电池防爆阀开阀导致失效的目的。

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失效分析
湖北 - 荆门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
纯电动汽车代客泊车功能失效保护方法和系统

本发明公开了一种纯电动汽车代客泊车功能失效保护方法,包括以下步骤:车辆执行代客泊车功能;VCU分别检测APA、ESC、PGU、EPB的工作状态;当APA故障时,ESC紧急制动,VCU控制档位至D档,并请求MCU扭矩置0,直至车辆完全停车后挂入P档;当ESC故障时,APA发送紧急退出指令至VCU,VCU控制档位至D档,自动调节行驶扭矩,将车速控制至0,直至车辆完全停车后挂入P档;当APA和ESC均故障时VCU控制档位至D档,自动调节行驶扭矩,将车速控制至0,直至车辆完全停车后挂入P档;当PGU和EPB故障时,若APA系统发送驻车指令,则VCU自动调节行驶扭矩,将车速控制至0,并维持该状态,完成停车。本发明能根据不同失效状态实施不同安全策略安全停车。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
车用主驱动永磁同步电机旋变失效跛行控制方法

本发明属于永磁同步电机控制技术领域,尤其为一种车用主驱动永磁同步电机旋变失效跛行控制方法,包括以下步骤:S1、操作电机控制器唤醒或启动,S2、电机运行指令到来之前,检测旋变解码芯片故障信息,S3、判断旋变解码芯片是否故障,S4、若无故障,重复所述S1工作,S5、若有故障,立即上报向整车控制器并进入跛行模式1,S6、在电机控制器电机运行指令到来之后,S7、检测旋变解码芯片故障信息;本发明在电机运行前与运行中实时监测旋变解码芯片故障信息,并在发生异常时根据工况进行判断,切换至几种跛行模式,尽量减少对永磁同步电机扭矩输出能力的影响,提高行车安全性。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
商用车前下防护装置断裂失效评估方法及系统

本发明公开了一种商用车前下防护装置的断裂失效评估方法及系统。商用车前下防护装置的断裂失效评估方法包括以下步骤:获取商用车前下防护装置的物理模型,接收网格划分指令,对商用车前下防护装置的物理模型进行网格划分生成网格模型;获取商用车前下防护装置的网格模型以在预设界面的PAMCRASH软件中显示;在PAMCRASH软件中定义商用车前下防护装置网格模型中各部件的材料属性和边界条件;对定义好材料属性和边界条件的商用车前下防护装置的网格模型在PAMCRASH软件中定义分析控制卡片,以进行求解计算;在预设显示界面输出计算结果,以进行判断。本发明通过软件仿真方式评估断裂点,以对实际生产进行改进,可有效缩短生产制成时间。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于安装滤毒失效报警传感器的双滤毒体结构

一种安装滤毒失效报警传感器的双滤毒罐串联结构,属于过滤式呼吸防护技术领域。本装置包括主滤毒体和辅助滤毒体,主滤毒体和辅助滤毒体通过通气管串联,滤毒失效报警传感器安装在主滤毒体和辅助滤毒体之间。当主滤毒罐失效后,穿透的毒气被失效报警传感器及时检测发现。当毒气浓度超过失效报警传感器报警阈值后,报警器发出警报信号,提示使用者撤离现场。此刻开始,穿透了主滤毒体的毒气经通气管向下游方向穿透辅助滤毒体还需一定的时间,在此时间内,使用者可以安全地撤离现场或更换滤毒罐。

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湖北 - 宜昌 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
起重设备起升机构制动器失效的保护控制方法

本发明公开了一种起重设备起升机构制动器失效的保护控制方法:步骤1,在变频器处于待机时,实时检测编码器发送过来的电机转速;步骤2,判断所示电机转速是否大于设定阈值上限,若是,则发出制动器失效信号,并进入步骤3,若否,则直接进入步骤5;步骤3,依次启动零转矩功能和转速追踪功能;步骤4,变频器停止输出零转矩后,转换到给定速度为零的速度控制模式,将重物以零速悬停在空中;步骤5,变频器接收手柄给定命令,变频器按照手柄给定命令运行。本发明可以稳定可靠的将制动器失效后加速下溜的重物快速制动并以零速悬停在空中,避免了目前市面上起升机构单靠制动器这种纯机械制动的方法所带来的风险。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
失效场景下LKA控制方法及系统

本发明提供一种失效场景下LKA控制方法及系统,该方法包括:实时检测自车两侧车道线及前方人行横道线;若检测到车道线且可检测距离大于预设长度,则选取车道中心线预瞄点,根据预瞄点控制车辆的横向距离偏差和航向偏差;若检测到人行横道线或通过人行横道时,则虚拟一段车道线,选取虚拟车道线的中心线预瞄点,根据预瞄点控制车辆的横向距离偏差和航向偏差;若未检测到车道线和人行横道线时,则根据上一时刻的车道线方程,虚拟一段车道线,并根据虚拟车道线对应的中心线预瞄点控制车辆行驶,并通知驾驶员接管车辆。通过该方案可以降低无车道线场景下,LKA稳定控制的成本,避免LKA功能突然退出和生效,保障车辆的稳定控制,提升LKA系统的鲁棒性。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
防故障失效控制芯片及其安全漏电保护器

本实用新型涉及一种防故障失效控制芯片及其安全漏电保护器。解决了现有旧式漏电保护器及其专用核心控制电路,经常因本身异常故障而失效失控,不能及时切断负载供电,存在着安全隐患、严重威胁人身安全的技术问题。保护器包括控制芯片、前级检测电路、后级驱动电路、执行电路、交流降压整流直流稳压电源和零序电流互感器,还包括极限设置电路或外复拦截电路,控制芯片包括反馈闩锁电路、闭锁电路、反异防失电路、超级触发电路。本实用新型优点是在发生异常故障时能及时进行反锁和闭锁保护,避免或防止自身异常故障时的触电事故,确保用电时人身安全。

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湖北 - 黄冈 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
失效的离子筛型锰系吸附剂的再生方法

本发明公开了一种失效的离子筛型锰系吸附剂的再生方法,包括以下步骤:(1)分析含锂、锰的失效材料中Li+、Mn2+的含量;(2)将含锂、锰的失效材料在酸性条件下与盐酸羟胺溶液反应,转换成溶液并滤去不溶物得到溶液A;(3)将溶液A与碱液反应,经过滤得到沉淀;(4)将沉淀与硝酸锂和过硫酸铵混匀后焙烧,得到吸附剂前驱体;(5)将吸附剂前驱体用酸解析,再经过滤、干燥得到吸附剂。本发明利用含锂、锰的失效材料再生制造吸附剂,有效地处理和利用失效的锰系吸附剂或锂电极材料将其资源化,节能环保;本发明提供的方法成本低廉,产品附加值高,可用于大规模生产,具有较高的应用价值。

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湖北 - 黄冈 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
分组同步通道失效的处理方法和装置

本发明涉及分组时间同步技术领域,提供了一种分组同步通道失效的处理方法和装置。其中方法包括处于Slave状态的端口检测到分组通道失效事件,本端口从主决策域时间源信息集中剥离,并基于分离的子决策域时间源信息集和主决策域时间源信息集进行状态决策,结果为监测状态或是主时钟状态。本发明解决分组同步通道失效事件引入后的处理方案缺失,使得同步OAM事件与同步路径决策相关联,提升了同步网运行的可靠性。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
失效晶圆研磨装置
失效晶圆研磨装置 953     
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一种失效晶圆研磨装置,包括:研磨台,所述研磨台具有研磨面,用于对失效晶圆的待研磨表面进行研磨;研磨液自动滴定单元,用于在所述研磨台对失效晶圆的待研磨表面进行研磨时,向所述研磨台的研磨面上均匀的滴入研磨液。本发明的所述失效晶圆研磨装置包括研磨液自动滴定单元,所述研磨液自动滴定单元能在所述研磨台对失效晶圆的待研磨表面进行研磨时,向所述研磨台的研磨面上均匀的滴入研磨液,因而能准确的控制研磨液滴入的速率和滴入的量,避免人工滴入研磨液带来的研磨液浪费,并能提高对失效晶圆的研磨均匀性,当失效晶圆的背面在研磨时需要按压时,操作人员或检测人员可以双手对失效晶圆的背面进行按压,提高对失效晶圆研磨的均匀性。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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