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集成电路电子元器件失效温度筛选装置及方法

723   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:38
本发明公开了一种集成电路电子元器件失效温度筛选装置及方法，其通过设计内热罩和外热罩形成内罩区和外罩区，且通过一升降机构带动内热罩在外热罩内做升降运动，实现内罩区与外罩区的连通或密封设置；并通过温控装置经第一热流控温通道控制内罩区的温度为测试温度，通过温控装置经第二热流控温通道控制外罩区的温度为下一梯度的测试温度；且当内热罩中完成上一个梯度温度点下的测试数据采集时，通过升降机构控制内热罩升起，连通内罩区与外罩区，通过热交换使内招区的温度迅速调节至与外罩区温度一致，从而节省待测集成电路电子元器件在失效温度筛选测试中升降温和温度稳定所需要的时间，进而提高集成电路电子元器件的失效温度筛选测试效率。
声明：
“集成电路电子元器件失效温度筛选装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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