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晶圆失效功能的关系的确定方法和装置

815   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:38
本发明实施例提供了一种晶圆失效功能的关系的确定方法和装置。该方法包括，根据对晶圆进行功能测试的晶圆测试结果，获取晶圆中的多个失效单元的失效功能和位置；将多个失效单元的失效功能，分别转化为多个第一向量；根据多个第一向量、以及多个失效单元的位置，确定多个失效单元各自对应的第一数据；根据多个所述第一数据,利用聚类算法，获取第一结果，所述第一结果用于指示晶圆失效功能之间的关系。
声明：
“晶圆失效功能的关系的确定方法和装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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