江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 其它材料

> 二硅化镍(NiSi2)靶材

二硅化镍(NiSi2)靶材

二硅化镍(NiSi2)靶材

浏览量 184
规格/型号:暂无
品牌:科泰
应用领域:材料
产地:江西 - 南昌
厂家/供应商:江西科泰新材料有限公司
咨询电话::19170716858(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2026-07-10
级别:待认证

二硅化镍(NiSi2)靶材说明介绍

二硅化镍(NiSi2)靶材

二硅化(NiSi2)靶材基本信息

分子式:NiSi₂

纯度:99.95%

CAS号:12265-55-3

摩尔质量:115.87 g/mol

密度:4.98 g/cm³

熔点:1300℃

沸点:

溶解性(水):

硅化镍(NiSi2)靶材产品概况

NiSi₂ 薄膜性能摘要

项目 数值

晶体 立方 CaF₂(Fm‑3m),a=5.406Å

电阻率(膜) 30–50 µΩ·cm

Seebeck n‑型

与 Si(001) 失配<0.4%(可外延) → 肖特基/红外研究

形成温 >750℃ RTA(通常不希望 in Salicide)

二硅化镍(NiSi2)靶材产品应用

NiSi2薄膜 ——最主要用途

① CMOS 自对准硅化物(Salicide)——核心大宗用途

流程:溅射 Ni(8–20 nm)→ RTA 350–550℃/N₂ → 选择性腐蚀未反应 Ni → 再 RTA(可选)确认 NiSi

形成 NiSi / 掺杂 Si(源/漏/多晶栅)低阻欧姆接触

优势 vs TiSi₂:

更低电阻率(~12–18 µΩ·cm)

Si 消耗少(≈1:1 反应)→ 适合浅结(≤0.1 µm)

无 C49→C54 细线效应→ 纳米尺度均匀相变

工艺窗口宽(350–750℃ 稳定)

应用节点:0.18 µm → 7 nm/5 nm 仍广泛用(现代 FinFET 也用 Ni(Pt)Si / Ni(Pd)Si 改性)

② 改良 Salicide(Ni(Pt)Si / Ni(Pd)Si 薄膜)

微量 Pt(≤10 at%)或 Pd 掺杂 Ni 靶/共溅 → 抑制 NiSi→NiSi₂ 转变、改善 NBTI、降低 Ag 聚集

本质仍是 NiSi‑base 薄膜,高端逻辑/SoC 主流

③ 功率器件欧姆接触(SiC / GaN 研究)

Ni 膜溅 + 退火(600–900℃)→ NiSi/Ni₂Si 与 SiC 反应形成低阻 p‑/n‑接触(部分功率模块)

不如 Ti/Al 在 GaN 普遍,但有研究应用

④ 局部互连 / Poly‑cide(少数老/特殊 BiCMOS)

NiSi/poly‑Si 叠层,但不如 TaSi₂ 耐极高 RTA,现多用于中低温
点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
钨矿——工业之基,战争金属之王 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地
江西科泰新材料有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
材料
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
19170716858
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.610137s