产品详细参数如下:
产品类别 合金靶材
产品简称 CrAlW
产品全称 Chrome aluminum tungsten
产品纯度 99.7%,99.9%,99.95%,99.99%
产品形状 平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶
生产工艺 PM
最大尺寸 L≤2000mm,W≤200mm
铬铝钨靶材是一种由高纯铬、铝、钨原料,经过仔细磨粉、混粉、高温压制得到的,采用该方法得到的靶材密度高,成分组织均匀,纯度高,晶粒细小。使用该靶材反应溅射得到的涂层,表面光滑,沉积速率快,与基底结合好,可应用于电极触头材料等镀膜领域,制备具有高硬度、高耐电压强度、低截流值、可替代纯钨的薄膜材料。