产品详细参数如下:
产品类别 合金靶材
产品简称 CoFeTaZr
产品全称 Cobalt iron tantalum zirconium
产品纯度 99.9%,99.95%,99.99%
产品形状 平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶
生产工艺 Vacuum Melting
最大尺寸 L≤200mm,W≤200mm
钴铁钽锆靶材是由高纯钴、铁、钽、锆经高真空熔炼得到的靶材,该工艺能够有效控制成品靶材的氧含量,采用特殊的冷却模具,是合金液体快速冷却,得到的合金靶材组织结构均匀,成分分布均匀,组织细小,经过高温高压致密化处理,使得材料极为致密,这为其溅射出高品质薄膜提供了保障。经过热处理后,靶材的磁头率(PTF)显著提高,钴铁钽锆靶材沉积的薄膜是垂直磁记录膜层中重要的软磁层。