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1198 （1）FS5030系列平面度测量仪
FS5030系列是嘉腾仪器的旗舰平面度检测产品，采用高精度大理石基座及平板，配备精密研磨级滚珠丝杆、线性导轨与松下伺服马达，包含基恩士LK-G10或LKG30激光传感器、工控电脑和专用平面测量软件，可根据用户需求灵活增减测量激光数量，实现快速大批量检测。FS5030系列适用于机械加工生产、电子产品生产、精密仪表制造、塑胶加工生产、数码产品生产以及军工航空等精密检测场景。
（2）平面度快速测试仪MCO400
MCO400专为批量检测场景设计。设备具备机械化快速平整度测量、操作简单便利、高速精确、数据易管理、调试便捷等优点。设备尺寸约为1150×950×1400mm，重量215Kg，XY运动行程400×400mm，重复精度±0.003mm/轴，单件测量精度为0.01mm，移动速度范围0.1至800mm/s。MCO400广泛适用于手机壳、手机玻璃盖板、手机配件、五金件、塑胶件和钣金件的批量检测。
（3）模组平整度检测仪
模组平整度检测仪采用了与FS5030系列一致的高刚性大理石基座和精密运动系统，专门针对LED模组、液晶模组等板块型工件的平面度检测需求。设备采用基恩士线激光传感器，可快速测量平整度，激光扫描后计算出扫描范围内的Z轴差值，软件生成二维和三维形貌图像，用户可在二维图像中编辑需要测量的区域，由软件自动计算平面度。工作范围为400×300×200mm，重复精度±0.02mm/轴，移动速度范围0.1至800mm/s。
（4）JT-D3641平整度高度快速检测仪
JT-D3641系列专为平板型工件、玻璃元件及精密金属件的平整度与高度快速检测设计。设备机身采用CNC一体加工，有效保证了XYZ三轴的垂直度，内部集成专用控制卡，支持多轴圆弧插补，兼具PTP与CP运动控制模式。设备包含基恩士LK-G30激光传感器、工控电脑和专用平整度测量软件，能够一次性获取工件全场高度分布数据，有效缩短批量检测的作业周期。适用于机械加工生产、电子产品生产、精密仪表制造、塑胶加工生产、数码产品生产及军工航空等精密检测场景。
（5）平整度检测系统
嘉腾仪器还提供基于机器视觉的平整度检测系统，专门用于检测IC芯片、电子连接器的针脚平整度（水平直线度、共面度）、间隙、针脚宽度等。该系统简单设定后即可自动识别检测，在检测标定平面度时精度达0.01mm以上。系统具备自学习功能，可通过RS232接口或以太网接收上位机控制信号，检测到质量问题时发出报警信号并输出控制信号。
（6）激光平整度测量仪QVS系列
嘉腾仪器的激光平整度测量仪QVS系列采用进口开放式英国RENISHAW精密光学尺，分辨率为0.5μm。LK感测头可应用于半导体硅芯片的厚度测量、电子领域超薄HDD偏摆检测以及LCD控制调合器的高度测量。
（7）QVS型激光平整度测量仪
QVS系列激光平整度测量仪在精密尺寸测量和共面度检测方向进行了专门优化。设备可用于半导体硅芯片厚度测量、超薄HDD偏摆检测以及LCD控制调合器高度测量。
（8）其他型号
嘉腾平面度测量仪产品线还包括模组平整度检测仪、全自动影像测量仪等型号，不同定位的设备在行程规格、传感器配置和自动化程度上各有侧重，以满足多样化的产线检测要求。
选型原则嘉腾平面度测量仪配置了专用全自动平面测量软件。采用人性化的人机界面设计，支持中/英文操作界面切换，具备可编程自动检测功能。用户可在软件端预设检测方案，系统自动执行扫描路径规划、多点高度数据采集、参考平面拟合、平面度误差极差计算以及合格/不合格判定等全部流程。
扫描完成后，软件根据采集的高度数据自动拟合参考平面，计算平面度误差值，并将测量结果与预设公差阈值进行比对后输出工件合格/不合格判定。测量报告支持Excel、Word、Txt等常见格式导出，可按需对接制造执行系统，实现全批次质量数据追溯。在二维图像界面中可编辑指定测量区域，或选取多个区域由软件自动计算平面度，满足不同工件的差异化检测需求。
嘉腾平面度测量仪可根据用户实际需求进行配置扩展。设备支持灵活配置测量激光的数量和类型，可部署多激光同步测量阵列，实现高精度全智能快速测量。设备可与嘉腾专制夹具配套使用，实现工件的批量快速检测。对于特殊尺寸工件，行程可根据工件尺寸非标扩展；对于特殊材料或表面处理需求，激光位移传感器的类型和量程可按需选配。在软件层面，测量报表格式和数据接口可按工厂质量系统的规范要求定向开发定制。
嘉腾平面度测量仪产品线已覆盖多个精密加工行业：
机械加工生产：冲压件、机加工件的平面度批量检测
电子产品生产：手机壳、手机玻璃盖板、手机配件、IC芯片、电子连接器针脚平面度检测
精密仪表制造：精密仪表零件的平面度质量控制
塑胶加工生产：注塑件的平面度与翘曲度检测
数码产品生产：数码产品外壳的结构平整度检验
LED模组与液晶模组：LED模组平整度测量、液晶模组平面度检测
军工航空：军工、航空领域精密零件的平面度验证
高精度大理石基座及平板是嘉腾平面度测量仪的硬件核心。设备底座采用天然大理石材料制造，兼具高硬度、低热膨胀系数和优良的抗振性能，经时效处理消除内应力后，可在长期使用过程中保持整机的平面精度和刚性。这一设计对保证测量系统不受环境温度和基础振动的干扰提供了物理保障。
精密研磨级滚珠丝杆及线性导轨构成三轴运动系统的传动核心，搭配松下伺服马达驱动，能够在0.1mm至800mm/s的宽调速范围内高速精确定位，同时保证运动过程的平稳性。以MCO400型号为例，其X/Y轴运动行程为400×400mm，重复定位精度达到±0.003mm/轴，分解能力为0.01mm/轴，测量精度为0.01mm。
激光位移传感器是设备的核心测量部件。嘉腾平面度测量仪采用基恩士LK-G10或LKG30系列点激光传感器，支持选配线激光方案，通过激光三角测距原理逐点扫描或快速扫描被测工件表面，采集每个测量点相对基准平面高度差值。部分设备可根据被测工件情况灵活增减测量激光的数量，实现多激光同步扫描，进一步提高大尺寸或复杂表面的检测效率。
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