钨的高原子量、钛的高耐腐蚀性、极好的不同表面附着力,再加上这些材料的溶解度都使钨钛(WTi)成为用于防止外来原子扩散的致密层的理想解决方案,广泛用于半导体和薄膜
太阳能电池。对于半导体应用,WTi10wt%薄膜用作扩散阻挡层和粘附层,以将金属化层与半导体分离,例如,将
铝与硅分离,或将
铜与硅分离。对于薄膜太阳能电池,WTi10wt%薄膜还用作阻挡层,以防止钢基底中的铁原子扩散至CIGS功能膜层。中科言诺可生产WTi 90 / 10wt%,WTi 85 / 15wt%,可定制特殊成分,实际靶材密度> 99%,平均晶粒度<100um。凭借较高的纯度和特殊的退火处理,均匀的晶粒尺寸以及较低的气体含量,最终用户可以在PVD工艺中获得恒定的腐蚀速率以及高纯度和均匀的薄膜涂层。