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微分干涉显微镜

微分干涉显微镜

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规格/型号:MX4R
品牌:益嘉
应用领域:分析检测
产地:广东 - 东莞
厂家/供应商:东莞市益嘉仪器有限公司
咨询电话::18613048344(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-08-18
级别:待认证

微分干涉显微镜说明介绍

 益嘉


工作原理

MX4R基于Nomarski微分干涉原理,通过偏振器将光源光束分解为两束振动方向垂直的偏振光,经DIC棱镜分离后形成微小夹角(约0.1-1μm)。两束光穿透样品时,因表面高度差或折射率差异产生光程差,再经物镜后焦面的DIC滑行器重新合并,最终通过检偏器形成干涉图像。样品表面微小起伏会转化为明暗反差强烈的浮雕效果,使未染色的透明或半透明结构(如晶圆缺陷、金属疲劳裂纹)呈现三维立体投影,突破传统明场显微镜的分辨率限制。



应用范围

该设备覆盖三大核心领域:半导体行业用于晶圆表面划痕、粒子压痕检测;显示屏行业支持COG/FOG导电粒子爆破形态分析、ITO线路腐蚀检测;金属加工领域可评估热处理后的晶粒度、焊接表面缺陷及镀层厚度。其50-1000倍放大能力与0.001mm微调精度,可满足从微米级导电粒子到毫米级焊接缺陷的检测需求。



技术参数

MX4R配备无限远色差校正光学系统,搭载5X-100X长工作距金相物镜(支持半复消色差技术),成像视场直径达22mm。4英寸双层机械载物台行程105×105mm,配合5W大功率LED光源(色温6500K,寿命≥50000小时),可实现明场、斜照明、偏光、DIC四模式切换。设备集成2K高清工业相机接口,外接21.5英寸显示器即可完成图像采集、尺寸测量(精度≤3μm)及录像存储,无需连接电脑。



产品特点

其一,模块化设计,支持偏光附件、干涉滤光片等扩展,可升级为透反射双光路系统;其二,人机工程学优化,30°倾斜三目观察筒、前置低手位粗微调旋钮(行程33mm)与Y型底座显著降低操作疲劳;其三,抗震性强,金属机架内置风冷循环系统,适应车间环境;其四,智能照明,宽电压数字调光技术(100-240V)支持光强记忆与复位功能,确保不同批次检测的重复性。

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企业认证:
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分析检测
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18613048344
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