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高温化学气相沉积系统

高温化学气相沉积系统

296
规格/型号：KJ-CVD-1700-60*300-F3
品牌：鸿炉机械
应用领域：材料制备
产地：河南 - 郑州
厂家/供应商：河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话:：17737149370（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-07-24
级别：待认证

高温化学气相沉积系统说明介绍

高温化学气相沉积系统

设备介绍

该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置。采用温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

产品优势

刚玉材质炉管

炉管采用刚玉材质，工作温度可达1600度，具有高温稳定性和耐腐蚀性，加热均匀性好

PID自动温控

控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃

良好的气密系统

炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、密封性强，法兰带阀门和相关接口，可抽真空通气氛

技术参数

产品名称 高温化学气相沉积系统

产品型号 KJ-CVD-1700-60*300-F3

加热部分

显示 LED

最高温度 1700℃

工作温度 ≤1600℃

升温速率 建议: 0~10℃/min

加温温区 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 硅钼棒

热电偶 B 型

控温精度 ±1℃

炉管尺寸 60 x 900mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

刚玉管

温度控制 PID自动控制

升温速率 30段可编程

最大工作压力 0.02MPa

真空部分

真空泵总成 (旋转叶片泵+扩散泵) 冷态极限真空6.67*10-3Pa。

真空测量 复合真空计。

真空法兰 带阀和针的不锈钢真空法兰

质量流量计(3条气体路线Ar、H2、CH4)

流量范围 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM

输入电压信号 0 V ~ +5.00 V

输出电压信号 0 V ~ +5.00 V
         
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标签：
高温化学气相沉积系统 气相沉积系统
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