设备介绍
	
	该立式双温区CVD系统主要由:1200度双温区管式炉、3通道质量流量计供气系统、2L/S抽速
真空泵及相关连接件组成;设备下方加装定向轮和万向轮,设备整体占地尺寸小并可灵活移动。该设备适用于CVD工艺,主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
 
	
	产品优势
	
	多段智能PID程序控温
	
	控温系统采用PID方式调节,多段"时间—温度曲线"任意可设,可编程30步
	
	立式可开启结构
	
	双层壳体立式可开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
	
	优良的动密封系统
	
	不锈钢金属法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空,同时连接3种气源至微正压
	
	技术参数
	
	设备名称 立式CVD系统
	
	设备型号 KJ-TCVD1100-S40CK2
	
	流化床管式炉部分
	
	最高温度 1200 ℃
	
	工作温度 ≤1100℃
	
	显示 LCD触摸屏
	
	管径 外径40mm*长度1100mm(其他尺寸可按客户需求定制)
	
	管材 高纯石英管
	
	加热元件 优质电阻丝
	
	加热速率 0~10℃/min
	
	温度控制 •多段"时间—温度曲线"任意可设,可编程30步
	
	•触屏多段智能PID程序控温 ,烧结数据可记录并以excel形式导出
	
	•内置超温和热电偶故障保护
	
	热电偶 N型热电偶测温
	
	密封方式 定制不锈钢真空法兰一套含密封
	
	炉膛 双层钢制外壳,带双冷却风扇,双温区立式开启结构,取放炉管方便
	
	
	真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
	
	供气系统:3路质量流量控制系统
	
	气体通道 可同时连接3种气源至微正压
	
	流量计 质量流量计(可选其他量程)
	
	气路压力 -0.1~0.15 MPa
	
	截止阀 不锈钢材质
	
	气路连接管 1/4不锈钢管
	
	真空泵+真空计系统
	
	真空泵 真空泵配硅胶软管可快速置换炉管内气体