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三温区CVD系统

三温区CVD系统

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规格/型号:KJ-OTF-1200-80*220*3-F3
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-30
级别:待认证

三温区CVD系统说明介绍

三温区CVD系统

设备介绍

此款多温区CVD系统是由多通道高精度的质量流量计、低真空机组以及1200度高温管式炉组成。该CVD化学沉积系统广泛应用在半导体、纳米材料碳纤维石墨烯新材料、新工艺领域。

产品优势

PID程控技术

控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠

操作方便快捷

气路采用快速连接法兰结构,提高操作便捷性

稳定的真空系统

中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵

技术参数

产品名称 三温区CVD系统

产品型号 KJ-OTF-1200-80*220*3-F3

加热系统

显示 LED

最高温度 1200℃

工作温度 1100℃

升温速率 建议: 0~10℃/min

温区 3温区

每个区域的长度 220mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 钼电阻丝

热电偶 N型

温度控制精度 ±1℃

炉管尺寸/材质 80 x 1300mm (其他尺寸可根据客户需求定制)

材料:高纯度石英

温度控制 通过SCR功率控制的PID自动控制

加热过程 30步可编程

真空测量 复合数字真空计

真空法兰 带阀和针的不锈钢真空法兰

真空泵系统 冷态极限真空6.67*10-3Pa。真空泵总成(旋转叶片泵+扩散泵)

气路系统

高精度质量流量计 3气路Ar、N2、C2H4气体

流量范围 可选(20、30、50、100、200、300、500)SCCM

工作压力差范围 0.1~0.5MPa

耐压性 3MPa

温度系数 零点:≤±0.2%F.S./℃;量程:≤±0.2%F.S./℃

工作环境温度 5~45℃
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17737149370
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