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多模式光学轮廓仪

多模式光学轮廓仪

浏览量 528
规格/型号:Zeta-300
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::02164283335(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-08
级别:待认证

多模式光学轮廓仪说明介绍

Zeta-300多模式光学轮廓仪

Zeta-300多模式光学轮廓仪


简介

Zeta-300光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统,具有集成的隔震系统和灵活的配置。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode(多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-300的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时采集高分辨率3D数据和TrueColor(真彩)无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-300提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量,以及缺陷检测能力,支持研发和生产环境。

二、功能

主要功能

台阶高度:纳米到毫米级别的3D台阶高度

纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度

外形:3D翘曲和形状

应力:2D薄膜应力

薄膜厚度:30nm到100μm透明薄膜厚度

缺陷检测:捕获大于1μm的缺陷

缺陷复检:采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

技术特点

Zeta-300是采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用:

可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜。

Z-Dot:同时采集高分辨率3D数据和TrueColor(真彩)无限远焦点图像

ZXI:白光干涉测量技术,适用于Z向分辨率高的广域测量

ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据

ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像

ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率

AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化

生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量,支持3DScanning

大尺寸Wafer测量:大测量尺寸可扩展至8寸

三、应用

肖特玻璃-表面粗糙度

可用来测试玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度。

太阳能电池–不同反射率表面形貌测量

轻松获得复杂差异化反射率样品的表面形貌。

MEMS器件–台阶高度和粗糙度

小尺寸样品nm级台阶精度,大尺寸样品的亚微米台阶精度。

镜头-完整的表面轮廓

图像拼接功能,可获得大面积样品的完整表面轮廓。

高分子薄膜-膜厚测量

可用于PI和PR薄膜的厚度测量,并可生成整片晶圆上的膜厚mapping。

蓝宝石-图案化晶片表面缺陷

可对特定缺陷进行三维轮廓扫描并进行相关测量,并对晶圆表面缺陷按尺寸、亮度、长宽比等进行分布统计并生成mapping。

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