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白光干涉仪

白光干涉仪

浏览量 636
规格/型号:MicroXAM800
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::02164283335(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-08
级别:待认证

白光干涉仪说明介绍

MicroXAM800白光干涉仪

MicroXAM800白光干涉仪


简介

MicroXAM-800是用于3D表面形貌和粗糙度测量的非接触式的光学轮廓仪。MicroXAM-800是一款基于白光干涉仪的光学轮廓仪,采用相位扫描干涉技术(PSI)对纳米级特征进行测量,以及采用垂直扫描干涉技术(VSI)对亚微米至毫米级特征进行测量。MicroXAM进一步扩展了这些技术,它采用SMARTAcquire为新手用户简化了程序设置,并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。MicroXAM-800的程序设置简单灵活,可以进行单次扫描或多点自动测量。

MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关,因而能够在大视野范围内进行测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。MicroXAM的用户界面创新而简单,适用于从研发到生产的各种工作环境。

二、功能

主要功能

台阶高度:纳米级到毫米级的3D台阶高度

纹理:3D粗糙度和波纹度

形貌:3D翘曲和形状

边缘滚降:3D边缘轮廓测量

缺陷复检:3D缺陷表面形貌





技术特点

针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量;

SMARTAcquire简化了采集模式并采用已知佳的程序设置的测量范围输入;

Z-stitching干涉技术采集模式,可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面;

XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描;

使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建,实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性;

利用已知佳技术,从其他探针和光学轮廓仪转移算法。

技术能力

Z向分辨率:0.2nm(PSI)

RMS重复性:0.1nm

台阶重复性:0.1nm或1%台阶高度

三、应用

半导体和化合物半导体

LED:发光二较为管

电力设备

MEMS:微电子机械系统

数据存储

医疗设备

精密表面

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上海纳腾仪器有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
检测设备
企业性质:
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经营范围:
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联系电话:
02164283335
详细地址:
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