设备介绍
	
	炉膛分为三个独立单元,均可独立控温,控温系统选用10英寸工控触摸屏,可设置5个控温段落,升温降温均可设置程序控制,控温精度±1℃,数据实时显示和记录,并能通过U盘导出csv表格形式。可提前在触摸屏系统内设定好温度曲线、衬底移动的条件和时间、炉膛打开散热的条件等整个工艺流程参数,装好样品后,关上法兰。通过一键操作,设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能。进气阀和流量的控制、
真空泵和真空度的控制均可在触摸屏上直接操作,触摸屏界面模拟显示动作过程。亦可实现半自动功能,由人工分步骤操作设备自动运行。
 
	
	产品优势
	
	自动控制流程
	
	可提前在触摸屏系统内设定好整个工艺流程参数,通过一键操作,设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能
	
	智能控温系统
	
	控温系统选用10英寸工控触摸屏,可设置5个控温段落,升温降温均可设置程序控制,控温精度±1℃
	
	风冷散热系统
	
	加热结束后炉膛均可通过按钮控制前后自动分开成两半,管子暴露在室温环境下,底部风扇强制风冷对其散热
	
	超温报警功能
	
	具有自动连续PID调节、超温报警、断偶指示等功能
	
	数据可存储导出
	
	数据实时显示和记录,并能通过U盘导出csv表格形式,数据可存储三个月
	
	可抽真空通气氛
	
	抽真空度大气到≤5Pa小于5min,设定真空度自动保持,可通多种气氛
	
	技术参数
	
	加热炉部分
	
	炉膛模式 前后移动开启式炉膛(三个工艺炉膛)
	
	显示模式 10英寸触摸屏
	
	加热元件 短红外波灯管,上下水平面独立加热
	
	工作温度 ≤800℃
	
	升温速率 5~10℃/s
	
	衬底移动 有,速度可调
	
	温区长度 200mm(恒温区100*100mm) (更多尺寸可根据客户需求定制)
	
	快速降温 ≥1℃/S
	
	炉管规格 Φ150*1400mm (更多尺寸可根据客户需求定制)
	
	控温精度 ±1℃
	
	密封方式 快速法兰密封
	
	超温报警 有
	
	过流保护 有
	
	断偶提示 有
	
	测温元件 N型热电偶
	
	
	传动机构
	
	样品移动 伺服电机驱动推杆带动衬底移动
	
	运行轨道 石英管内设计有双层轨道
	
	推杆移动速度 可调
	
	导轨水平度 ≤1mm/m
	
	推杆定位误差 ≤1mm
	
	防撞措施 超力矩自动急停,脱钩
	
	蒸发距离 衬底下平面和源上平面间距最小2mm,且可根据需要调节
	
	速度误差 ≤0.5%
	
	真空与气氛
	
	抽真空能力 大气到≤5Pa小于5min,设定真空度自动保持
	
	气压范围 10-3Pa~105Pa,机械泵极限≤5Pa
	
	气路系统
	
	3路进气
	
	不锈钢混合罐(带指针式压力表)
	
	超压保护(≥1atm),根据设定压力值自动排气
	
	控制系统
	
	半自动运行 手动按钮,电动运行
	
	全自动运行 显示整个工艺流程且一键操作
	
	温度数据存储 可存储数据
	
	数据导出 U盘导出csv格式数据
	
	工艺曲线 设备端触摸屏显示实时曲线并记录