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电阻式蒸发镀膜设备

电阻式蒸发镀膜设备

161
规格/型号：暂无
品牌：科诚
应用领域：材料制备
产地：辽宁 - 沈阳
厂家/供应商：沈阳科诚真空技术有限公司
咨询电话:：13998121527（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-03-28
级别：待认证

电阻式蒸发镀膜设备说明介绍

电阻式蒸发镀膜设备

电阻式蒸发镀膜设备是一种利用电阻加热原理使镀膜材料蒸发，并在真空环境中沉积到基片表面形成薄膜的物理气相沉积(PVD)设备。

此设备主要通过电阻加热的方式，实现镀膜功能，一体式结构有效的节约空间。

适用范围：

主要适用于制备金属膜、介质膜、有机材料薄膜及扫描电镜制样等。

该设备操作简便，使用灵活，适合于高校及科研院所的教学与科研工作。

1.采用机械泵与分子泵的抽气系统，真空环境清洁。

2.极限真空：≤5.0x10-5Pa 。

3.恢复工作真空时间≤40min(≤6.0x10-4Pa)

4.配置金属蒸发源(钨极)，有机束源炉等;可在线测量膜层厚度。

5.样品可自转，可实现无间隙在线掩膜2次;样品可在线升降，以满足最佳的镀膜工艺要求。

6.蒸发电源采用1带二模式，电控切换。
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电阻式蒸发镀膜设备
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沈阳科诚真空技术有限公司
企业认证：
  
所属领域：
材料制备
企业性质：
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经营范围：
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联系电话：
13998121527
详细地址：
-

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