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扩散炉/退火炉

235

规格/型号：暂无

品牌：上海光学精

应用领域：冶金

产地：上海 - 上海

厂家/供应商：中国科学院上海光学精密机械研究所

咨询电话:：400-9200-165（请说明信息源自“中冶有色技术网”）

更新时间：2025-01-27

级别：待认证

扩散炉/退火炉说明介绍

扩散炉／退火炉

产品描述：

本设备主要应用于光电子器件、新能源、太阳能电池、集成电路制造及对半导体等材料进行扩散、氧化、退火和沉积等工艺，可用于各种工艺尺寸。该设备系统具有精确微机控制系统，气体控制系统、具有多种故障报警及安全互锁功能。

结构介绍：

卧式扩散炉是石英舟平行于水平面，一台可以单管或多管的工艺炉管，平均炉管的占地面积更小，片间的工艺参数较立式扩散炉更好,更加有利于机械手传送光学衬底片，片内工艺参数一致性较好。

扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成：

控制系统：采用触摸一体机，传感器万能输入，控制精度为0.1级。本控制系统采用高精度温度控制专用模块进行温度控制。主控单元(PLC)通过RS485通讯口与仪表通讯，可通过工艺编程实现全自动执行升、恒、降温度曲线(工艺设定和监控在工控机上）。温控模块使用自整定的PID进行温度的

精确控制：

进出舟系统：手动进出料或自动进出料(有手动石英拉钩和悬臂桨两种结构）；

加热系统：炉体由进口KANTHAL（康泰尔）公司生产的高温炉丝，英国MORGAN（摩根）保温棉，优质99瓷绝缘子，管口处采用进口陶瓷纤维，不锈钢304外壳等部分组成，设备上装有测温热电偶和超温热电偶；

气路系统:气路系统包括质量流量控制器、气动阀、不锈钢接头、过滤器、减压器、单向网等，管道采用耐蚀不锈钢管。密封良好。整个管路各个网门之间采用程序互锁，保证了各个阀门之间的连锁互动关系。所有气路管道及阀门均采用316L不锈钢管材，软管路均采用聚四氟乙烯管路连接。可通入保护性气体(正压＜0.04MPa下使用)。

扩散炉／退火炉