带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV
型号:OTF-1200X-5-III-F3LV
产地:广东
产品介绍
带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃,并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场,可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。
产品型号
带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源
4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上
5、通风装置:需要
主要特点
1、双层壳体,配有冷系统,炉体采用高纯度
氧化铝多晶纤维保温材料。
2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高反射率和保护炉膛洁净度。
3、一端法兰配有滑轨,便于样品装卸;另一端法兰装有数字真空计。
4、采用三个独立PID控制器 ,可以设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。
5、已通过CE认证。
技术参数
1、电源:单相AC 208-240V 50/60Hz 7KW (40A保险丝)
2、石英管:外径Ø125mm,内径120mm,长1400mm,带有一对真空密封法兰
4、加热区域:温区I长229mm,温区II长457mm,温区III长229mm,总长915mm
5、恒温区域:三个温区为同一温度时为625mm,温区II为110mm
6、工作温度:最高1200℃,连续工作1100℃
7、最大升降温速率:20℃/min
8、控温精度:±1℃
9、热电偶:K型
10、浮子流量计:3个,量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min
11、数字真空计:10-4torr
产品规格
尺寸:管式炉1080mm×430mm×600mm;重量:70kg