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混气系统4路质子

混气系统4路质子

235
规格/型号：GSL-4Z
品牌：科晶智达
应用领域：冶金
产地：广东 - 深圳
厂家/供应商：广东科晶智达科技有限公司
咨询电话:：无（请说明信息源自“中冶有色技术网”）
更新时间：2025-01-25
级别：待认证

混气系统4路质子说明介绍

混气系统4路质子GSL-4Z

混气系统4路质子GSL-4Z


型号: GSL-4Z

产地: 广东

配件产地: 国产配件

产品介绍

混气系统4路质子GSL-4Z是用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。

产品型号

混气系统4路质子GSL-4Z

主要特点

精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。

技术参数

1、电源：185-245V 50Hz

2、最大输出功率：18W

3、控制范围：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、

控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM

4、最大压力：3×106 Pa

5、准确度：±1%FS

6、线性：±0.5-1.5%

7、重复精度：±0.2%FS

8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢

9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa

10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）

11、混气罐：Ø80mm×120mm

12、截止阀：Ø1/4″，316不锈钢针阀

13、工作温度：5-45℃

产品规格

尺寸：600mm×600mm×650mm
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标签：
混气系统4路质子 混气系统 冶金设备
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