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双管滑动快速加热冷却炉

双管滑动快速加热冷却炉

185
规格/型号：OTF-1200X-4-C4LVS
品牌：科晶智达
应用领域：冶金
产地：广东 - 深圳
厂家/供应商：广东科晶智达科技有限公司
咨询电话:：无（请说明信息源自“中冶有色技术网”）
更新时间：2025-01-25
级别：待认证

双管滑动快速加热冷却炉说明介绍

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS


型号:OTF-1200X-4-C4LVS

产地:广东

产品介绍

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的双管CVD系统，是专为在金属箔上生长薄膜而设计的，特别适用于新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。本机可通过滑动炉体，实现快速加热和冷却。

产品型号

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS

安装条件
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、采用高纯Al2O3保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性，内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

2、设有双石英管，金属箔缠绕在内管的外表面上，以发生CVD反应。

3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管。

4、配有四通道质量流量计控制4路气体，及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。

5、底部设有滑轨，炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温。

6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。

技术参数

1、电源：单相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW（20A保险丝）

2、石英管：外管外径Ø100mm，内径Ø96mm，长1400mm

内管外径Ø80mm，内径Ø75mm，长1400mm

3、加热区：440mm

4、恒温区：120mm（双温区炉可获得240mm）

5、工作温度：最高温度1100℃，连续温度1000℃

6、控温精度：±1℃

7、升降温速度：在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率

8、真空度：10-3torr（机械泵），10-5torr（分子泵）

9、真空法兰：SS304不锈钢，配有两个高温O型圈密封

10、流量计：4路精密质子流量计，气体流量自动控制（数字显示）

MFC1范围0-100sccm MFC2范围0-200sccm

MFC3范围0-200sccm MFC4范围0-500sccm

11、流量精度：0.2%

12、进出气口：1/4"卡套

产品规格

尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg

可选配件

1、铜箔（150m×150mm×25µm，生长石墨烯用）

2、防腐型数字式真空显示计
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