带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃,并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场,可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。
1000℃卧式马弗炉炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料,采用电阻丝为加热元件,且均匀地分布六面墙体,有效的保证了温场的均匀性。测温采用性能稳定、长寿命的“S”型热电偶,以提高控温的精准性。
GSL-1100X-50-LVT 是一款已通过CE认证的1100℃分体式真空管式炉. 标配内包含KF25 转接口、 进口数显真空计 、双旋片机械泵 、 油雾过滤器,另外配有OMEGA 测温仪及K 型热电偶 一套, 可将K型热偶从左端法兰安装于炉管内部从OMEGA测温仪上读取样品实时温度. 30段可编程温度控制仪,可按不同客户的实验要求设置所需要的升温速率,控温精度±1℃.炉体在加热过程中真空不能高于1E-2 Torr使用,否则容易造成炉管的损坏。
混气系统4路质子GSL-4Z是用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架内,管式炉可以放在移动架上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀,可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响,在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
高真空钽加热炉是高温电阻加热炉。以钽为加热元件,适用于高真空状态下对金属、非金属及其化合物进行烧结、熔化,也可以对小型样品进行真空钎焊的操作,如硬质合金、镍基合金、粉末冶金、镍钴合金、合金钢、不锈钢、稀土钕铁錋等。高真空钽加热炉极限工作温度为2000℃,工作最高温度1800℃,工作过程中的加热速度可以通过温控表进行设置,但升温速度过快会使钽炉胆的寿命会有所降低,为了延长炉子的使用寿命,推荐每分钟的升温速度为20℃,在500℃以下可以适当加快升温速度。