本发明公开一种薄膜化质子导体电解质及其制备方法。该制备方法制备的质子导体电解质为
钙钛矿结构氧化物,其结构特征组成为:BaZr
1‑xM
xO
3‑δ;式中0≤x≤1,δ表示非化学计量氧;M选自Ce、Y、Al、Yb、Gd、Mg、Ti中的至少一种。该制备方法以萤石结构氧化物致密或多孔片为基体,基体的特征组成为Zr
1‑xM
xO
2‑δ,式中x,M,δ含义与上述相同;在特定条件下与气相Ba源发生反应生成薄膜化的质子导体电解质,该薄膜化电解质的厚度小于10μm,气相Ba源选择BaCO
3、Ba(NO
3)
2、Ba(CH
3COO)
2的一种。该制备方法有望用于固体氧化物燃料电池和电解池中。
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