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多晶硅铸锭用石英坩埚的制造方法

1011   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:29:00
本发明公开了一种多晶硅铸锭用石英坩埚的制造方法,包括浆料的制备和坯体的成型,将部分的石英粉料、部分含有聚合物单体和交联体的添加剂和全部去离子水一起进行球磨,球磨至要求的粒度后再加入剩余石英粉料及剩余添加剂进行二次球磨,得到浆料,将适量合格的浆料进行搅拌,搅拌的同时注入引发剂和催化剂,将搅拌后的浆料动态加压注入模具中后进行加热固化,加热固化过程中有机聚合物单体交联聚合成三维网络状聚合物凝胶,将石英粉料粘结固化形成胚体,本发明所述制造方法生产周期短、效率高、成本低,适应大批量工业化生产的需要,根据本发明制造出来多晶硅铸锭用石英坩埚尺寸变形量小、显气孔率低、耐压强度和抗折强度高。
声明：
“多晶硅铸锭用石英坩埚的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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