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镍酸镧导电金属氧化物纳米薄膜的制备方法

1064   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:28:59
一种镍酸镧导电金属氧化物纳米薄膜的制备方法，该方法包括：一、靶材的制备，即首先把分析纯的Ni2O3、La2O3氧化物粉末以1∶1的比例混合，进行预烧，预烧后之后进行球磨，然后压成直径50mm，厚度4mm的圆片，最后在1050～1150℃度高温中烧结成陶瓷靶；二、薄膜材料的制备，即采用射频磁控溅射法，调整好溅射机的各项参数，衬底原位加热到一定温度后，溅射沉积所需厚度的薄膜。本发明的方法制得的薄膜具有高度的择优取向和良好的导电性，表面致密平整，在室温下的电阻率约为1mΩcm。这种薄膜可以用作制备高质量钙钛矿结构铁电薄膜材料的缓冲层，或者可作为铁电薄膜器件的底电极。
声明：
“镍酸镧导电金属氧化物纳米薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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